まえがき前（前）

(1) 目的（1）眼睛

この取扱（運転 • 保守）説明書（以下、「取扱説明喜」と呼びます）は、窒素製造装置の運転 • 操作と保守 • 点検について説明します。
该操作（运转·保养）说明书（以下称为“使用说明喜”）对氮制造装置的运转· 操作和保养·检查进行说明。
(2)対象とする使用者（2）目标用户。

この取扱説明歵は、この設備で取り扱うガス（酸素 • 窒素等）に係わる物性および危険性の知識、さらに回転機および電気 • 計装に係る工学的知識と軍気の危険性に係る知識を有しており、かつ実務的取扱経験が 1 年以上の経験者を想定して作成してあります。
该使用说明书是假定具有与该设备处理的气体（氧·氮等）相关的物性及危险性的知识，以及与旋转机及电气·仪表相关的工学知识和军气的危险性相关的知识，并且有1 年以上的实际操作经验的人而制作的。

2.取投恸明書0作成に闌する前惿事㑯 2.取投明书0作成前曾事。

この取扱説明青は、装置の運転 • 操作の手順および保守 • 点検の定期点検に係る基本的な事項について説明してあります。
该使用说明蓝色说明了装置的运转· 操作的顺序以及保养·检修的定期检查相关的基本事项。

3. 取报没明明書の件い方 3.取报没明明书的事方，

(1)この装置の取扱経験者の方は、運転 • 操作および保守 • 点検について少しでも不確かな点がありましたら、再度この取扱説明春の全体を読んで確かめて下さい。
（1）有使用本装置经验的人士，如果在操作、操作、保养、检查方面有任何不确定之处，请再次阅读本说明书春季的全部内容进行确认。
（2）この装置の取扱未経験の方は、この取扱説明数をよく読んで内容を理解し、さらに経験者より説明を受けてから設備の運転 • 㧺作および保守 • 点検を行って下さい。
（2）对于没有使用该装置经验的人，请仔细阅读该使用说明数，理解内容，并在接受有经验者的说明后，进行设备的运转、改建以及维护、检修。

本装置に関する機器類の取扱説明青は以下の通りです。これらの機器の取扱について本粪と同様に良く読まれて内容を十分理解の上、安全に注意して使用して下さい。またこれらの取扱説明青も本青と同様、大切に保管してすぐ取り出せるようにして下さい。
与本设备有关的设备的使用说明蓝色如下。关于这些机器的使用，请和本粪一样仔细阅读，在充分理解内容的基础上，安全注意使用。另外，这些使用说明蓝色也和本蓝色一样，请小心保管，马上取出。
(1)凌張タービン取扱説明青（1）凌张汽轮机使用说明蓝
（2）空気圧樎機取扱説明咈（2）气压机使用说明
（3）冷却水設備取扱説明青（納入範囲外）（3）冷却水设备使用说明蓝色（交货范围外）
（4）制御装置ハードウェア仕様春（4）控制器硬件规格春季
（5）高圧盤取扱説明蓸（5）高压盘使用说明
（6）低圧盤取扱説明鰲（6）低压盘使用说明
（7）冷却塔制御盤取扱説明蹁（納入範囲外）（7）冷却塔控制盘使用说明书（交货范围外）
（8）分析計ラック取扱説明赛（8）分析计机架使用说明赛
（9）制御㳖置操作説明夆（9）控制设置操作说明
5. 関係図書一覧 5.相关图书一览表
（1）納入仕様嵩（1）交付规格
（2）据付要領寒（2）要冷。
(3) P & I D | A GRA.M
（c） P & I D| A GRA.M
(4)インターロックリスト（4）联锁列表
（5）警報リスト（五）警报清单
（6）制御装置機能仕様㝘（6）控制装置功能规格

(8)設定値リスト（8）设定值列表

JNR 型高純窒素製造装置は、常温吸着方式により原料空気中の水分および二酸化炭素を除去し、高性能の精留塔を使用して高純度の窒素ガスを製造します。糜ガスの一部を原料空気に循環させて再精留しており従来型装置よりも高収率となっています。本装置の運転には、常時液化窒素の注入が必要です。また、本装置は標準オプションとして、水素、一酸化炭素除去用の前処理触媒層、パーティクル除去のための送ガスフィルターを有しております。
JNR型高纯氮气生产装置采用常温吸附方法去除原料空气中的水分和二氧化碳，并使用高性能蒸馏塔生产高纯度氮气。部分糜烂气体通过循环到原材料空气中进行再精炼，与传统装置相比，产量更高。该装置的运行需要不断注入液化氮。此外，该装置的标准选择包括用于去除氢和一氧化碳的预处理催化剂层，以及用于去除颗粒的输送气体过滤器。

(1)プロセスの概要（1）过程概述

空気圧縮機付属の吸入フィルターで除塵された原料空気は、空気圧縮機で昇圧されます。この原料空気をアフタークーラーの前から取り出し、廃ガス熱交換器で熱回収された後、空気圧縮機のアフタークーラーで約

40^{\circ} C

まで泠却されます。自動切換式 MS 吸着器で原料空気中の二酸化炭素と水分が除去されます。触媒層では水素、一酸化炭素が二酸化炭素と水分に反応して除去されます。他方のMS 吸若器は、桃ガス熱交換器およびMS 再生用加熱器で加温されたＭS再生カスにより再生されます。
经空气压缩机附带的吸入过滤器除尘后的原料空气在空气压缩机中被升压。这些原料空气从后冷却器前取出，用废气热交换器回收热量，然后用空气压缩机后冷却器将其出售至约

40^{\circ} C

。自动切换MS吸附器可去除原空气中的二氧化碳和水分。在催化剂层中，氢和一氧化碳与二氧化碳和水反应后被去除。另一种MS吸泡器是由在桃气热交换器和MS再生加热器中加热的MS再生渣再生的。
MS 吸著器を通過した原料空気はコールドボックスに入り、主熱交換器で低温の廃カス及び製品カスにより冷却され、精留塔下部に導入されます。原料空気は精留塔で精留作用により高純窒素と酸素分に嵒む液化空気に分離されます。液化空気は塔下部に溜められた後、流量調節并を通って、第1凝㜚器に送られて精留塔上部の窒素ガスと熱交換します。この熱交換により液化空気の一部は気化して気液分離器に導入されます。気液分離器では、比較的窒素分に富むカスとさらに酸素分が恠縮された液化空気に分離されます。比較的窒素分に富むガスは、低温圧縮機で圧縮された後、原料空気に循環されて再び精留されます。酸素分が浪縮された液化空気は、液面調節井を通って第2凝縮器に送られ、精留塔頂部の窒素カスと熱交換します。完全に気化した液化空気は、膨張タービンを経由した後にMS再生カスとなります。なお、液面調節升から第2凝縮器の系統は、常に液化室素注入により装置の運転に必要な寒冷を補給し
通过MS吸附器的原料空气进入冷箱，在主热交换器中用低温废渣和产品渣冷却，然后导入蒸馏塔的下部。原料空气在精留塔中通过精留作用被分离为高纯氮和含氧的液化空气。液化空气储存在塔下部后，通过流量调节并，被送入第1凝器与精留塔上部的氮气进行热交换。通过这种热交换，一部分液化空气蒸发并引入气液分离器。在气液分离器中，它被分离成相对富含氮的渣和进一步压缩氧的液化空气。相对富含氮的气体在低温压缩机中压缩，然后循环到原空气中，再进行精炼。氧气成分被浪缩的液化空气通过液面调节井被送到第2凝缩器，与精留塔顶部的氮渣进行热交换。完全蒸发的液化空气在经过膨胀涡轮机后成为MS再生渣。另外，液面调节升到第2凝缩器的系统，经常通过注入液化室素来补充装置运转所需的寒冷。

して系外に送出され、残りは第1,2凝縮器により凝縮されて精留塔の還流液となります。
然后被送出到系统外，剩下的被第1、2凝缩器凝缩成为精留塔的回流液。

製品窒素ガスは、精留塔頂部よりやや下の棚段から系外に送出されます。
产品氮气从蒸馏塔顶部稍低的架子上排出系统。
コールドボックスより送出されるガスは、全て主熱交換器で常温となります。
从冷箱排出的所有气体都在主热交换器中处于常温状态。
なお、䒾置起動時および待機時の計装空気および膨張タービンベアリングガスは、お客様（バックアップ設備）より供給していただきます。起動後は、本装䦖にて自給します。
请注意，安装启动和待机时的仪表空气和膨胀涡轮轴承气体将由客户（备用设施）提供。启动后，我们将在本装中自给自足。
（2）構成機器の概要（2）构成机器的概要
①冷却水設備（納入範囲外）詳細は冷却水設備取扱説明喑を参照顆います。
①冷却水设备（交货范围外）详见冷却水设备使用说明书。
冷却水ポンプにて窒素製造装置に必要な冷却水を供給し、冷却塔にて室素製造装置から返送された泠却水を所定の温度まで泠却します。
冷却水泵将为氮生产设备提供所需的冷却水，并将从Muromoto生产设备退回的水放入冷却塔，直至规定的温度。

②䕓液注入設備（納入範囲外）（オプションにて取り外し可能）
镀液注入设备（交货范围外）（可选可拆卸）
窒卖製造䒾置で使用される冷却水のスケール除去等水質改善を行います。
改善水质，例如去除氮出售制造厂中使用的冷却水的水垢。
（3）空気圧縮機詳細は空気圧縮機取扱説明晋を参照願います。
（3）空气压缩机详细情况请参照空气压缩机使用说明晋。
原料空気を所定の圧力まで昇圧します。将原料空气提升到规定的压力。
(4) 水分離器（4）水分离器

M S 吸着器にミストを同伴しないよう空気圧縮機ユニット内付属のドレンセバレー夕および水分離器にて水分を分離し、ドレントラップにより系外に排出します。
为了避免雾气与MS吸附器一起使用空气压缩机单元内的排水沟过滤器和水分离器分离水分，并通过排水诱捕器将水分排出系统。
(5) 廊ガス熱交換器（5）廊气热交换器

空気圧縮譏で䒜圧、昇温された空気により、MS 吸着器再生カスを予熱します。
通过空气压缩，通过搅拌压，升温了的空气，预热MS吸附器再生渣。
(6)MS 吸着器触媒屬（オプションにて取り外し可能）
（6）MS吸附剂催化剂属（可选择移除）

MS 吸着器内に触媒を充填することにより原料空気中の一酸化炭素及び水郜をそれぞれ二酸化炭素、水分に反応させた後、除去します。
通过在MS吸附器中填充催化剂，原料空气中的一氧化碳和疏水分别与二氧化碳和水反应，然后被去除。
(7) MS 吸著器（7）MS吸附器

原料空気中の水分と二酸化炭素はコールドボックスに導入すると分離器の運転温度にて固化し、主熱交換器の流路を閉塞させます。MS 吸着器でこれらの成分を吸着除去し、 2 時間毎に吸着器を切換えて加熱ガスにより再生します。
当原料空气中的水分和二氧化碳被引入冷箱时，在分离器的操作温度下固化，从而堵塞主热交换器的通道。这些成分被MS吸附器吸附去除，吸附器每2小时切换一次，通过加热气体再生。
(8) MS 再生用加勞器（8）MS再生用加压器

MS 吸䒴器に充填される吸着剤には、水分と二酸化炭素を常温で吸着し、高温で脱着する特性があります。このMS 再生カスを、MS の再生に必要な温度（約

210^{\circ} C

）まで買温します。
填充在MS吸附器中的吸附剂具有在常温下吸附水分和二氧化碳，在高温下解吸的特性。将这些MS再生渣加热到MS再生所需的温度（约

210^{\circ} C

）。
(9)水冷却器（9）水冷却器

MS 吸着器での水分、二酸化炭栾の吸着により萛温した原料空気を、冷却水で所定の温度まで泠却します。
我们将用MS吸附器储存的水分和通过吸附二氧化碳袋而加热的原料空气，用冷却水储存到规定的温度。
(110コールドボックス 110个冷盒子
下記の譏器にて满成されています。精留塔では低温空気の蒸気と液体を向流的に接
用下述的釜器被清成。在蒸馏塔中，低温空气中的蒸汽和液体是向流动的。

し低沸点成分の窒捇を分離し制品として供給されます。コールドボックスは真空パーライト断勲によって断熱されています。
分离低沸点成分的氮氮基作为产品被供给。冷箱是通过真空泊光绝缘绝缘的。

主熟交換器主熟交换机
精留塔
第1，2凝縮器第一和第二冷凝器
気液分離器气液分离器

圧縮して原料空気に循環させます。压缩并循环到原材料空气中。
(12) ブレフィルター（オブションにて取り外し可能）
（12）布雷过滤器（可通过附件拆卸）

制品窑窅中の

1.0 μ m

以上のパーティクルを除去します。
移除产品中的

1.0 μ m

或更多粒子。
(13)消羔器（13）消音器

カス放出音を減音しカスを大気へ放出します。释放尘埃的声音被减小，并将尘埃释放到大气中。
(3)プラントの制御システム（3）工厂的控制系统

置は、監視 PC、PLC、リレー盤、およびフィールドコントローラで溝成されており、それらはコンバクトな制御盤に収納されています。監視 PC のグラフィック画面上のスイッチを㩧作することにより、蔆置の起動、定常運転、停止など全ての作業が自動的に行われます。装殖には安全運䎐上必要なインターロックが組み込まれており、夡置異常時は監視PCのCRT グラフィック画面に巽常内容を表示します。ただし、空気圧縮機および冷却塔設備には、それそれれ機側制御盤を配置し、機器装置保護のため起動準備および監視制御を行わせます。
该装置由监控PC、PLC、继电器面板和现场控制器组成，这些控制器被安装在一个紧凑的控制面板中。通过在监视PC的图形屏幕上制作开关，所有的操作，如启动、稳定运行和停止，都将自动进行。安装包括安全更新所需的联锁，当安装异常时，它将在监视PC的CRT图形屏幕上显示模糊的内容。然而，在空气压缩机和冷却塔设备中，安装了相应的控制面板，用于启动准备和监视控制，以保护设备。
(1)空気圧縮機の制御（1）空气压缩机的控制

機側制御盤を設け、機械の迺䎐、保護のための基本制御を行っています。
设置了机侧控制柜，对机器的重复和保护进行基本控制。
本装路における原料空気は、吐出放風による定風圧方式としており、原料空気の圧力上䒜時はアンロード運䎐となり、復帰後ロード運䎐となります。
本装路中的原料空气，采用基于喷出吹风的定风压方式，原料空气的压力上升时为卸载搬运，返回后为装载搬运。
（2）冷却塔の制御（納入範囲外）（2）冷却塔控制（交付范围外）
㳖筷の安定運䎐のため、冷却水温度によるインバータ制御としており、機側制御盤にて運䎐監視を行っています。
为了稳定搬运钢管，采用冷却水温度的反相器控制，在机侧控制盘上进行搬运监视。
(3)MS 吸着器の自動切換システム（3）MS吸附器的自动切换系统

MS 吸着器は、2時間の切換サイクルで自動的に切り換え操作されます。すなわち、一方の䇠か 2 時間使用されている間に他方の筒は加嘋再生、冷却されます。 1 サイクル（4時間）の間に下記のことが自動的に行われます。
MS吸附器在2小时的切换周期内自动切换操作。也就是说，当一个管子被使用了两个小时的时候，另一个管子被添加了，被冷却了。在一个周期（4小时）内，以下操作将自动执行：

吸演

\to

脱圧

\to

加熱

\to

椧却

\to

充圧

\to

吸着
吸演

\to

脱压

\to

加热

\to

却

\to

充压

\to

吸附

切換に伴う各井類の動作、時間等についての詳細は、「制御装置アプリケーション仕様膏」を参照して下さい。また、MS 吸湩器運転中に異常が生じた場合はMS 切換夕イマー停止もしくは蒋置停止となります。
关于切换时各井类的动作、时间等的详细情况，请参照《控制装置应用规格膏》。另外，在MS吸取器运转中发生异常的情况下，MS切换夕默停止或者蒋置停止。
(4)運転モードの選択（4）驾驶模式的选择

（a）ET 有り遈晥（通常䕉䎐）（a）有（通常有）有（有）
液化聜素注入による寒冷は䏆留塔液面にあらわれ、液面か上犀または下降した場合、液面を一定に保つように液化潞素注入井(LV3501)を調節して、その注入量を增減させ、ます。ET は常に入口圧力を一定に保つように制御されて選転します。
液化磷注入引起的寒冷出现在磷留塔液面，在液面或上弯或下降的情况下，调节液化磷注入井（LV3501）使液面保持一定，使其注入量增减。ET总是被控制以保持入口压力恒定的方式进行选择。
（b）ET無し逵䎐（b）没有ET;
この運䩓モードでは、ET 停止中であるため、廃カスは全慰ETr バイパス茾（PV3441）
在该搬运模式中，由于处于ET 停止状态，所以废渣为全慰ETr旁路（PV 3441）

を流れます。让它流动。
液化窒素注入による寒椧は綪留塔液面にあらわれ、液面が上昇または下降した場合、液面を一定に保つように液化望素注入并（LV3501）を調節して、その注入量を增隇させます。なお、このモードでは、低温厓縮機による㡷がスの原料空気循環がないため、 ET有り連転に比べて製品ガス量は低下します。
液化氮注入引起的寒渗出现在排留塔液面，液面上升或下降时，调节液化望素注入并（LV 3501）使液面保持一定，使其注入量增加。另外，在这种模式下，由于低温缩机没有产生的的原料空气循环，所以与ET的连续运转相比，产品气体量降低。
(5)規定製品純度を保つための制御（5）控制产品以保持其纯度;

規定純度の製品を探取するには、精留塔内で分精留が行われる必要があります。そのためには、一定の L/V（エル • バィ • ブイ：降下する液体と上眾するカスの量の比）が必要です。塔内を降下（還流液）する流量は塔底から抜き出す液化空気量にほほ比例し、液化㕸気量が減少すると一定の L/V が保てなくなり、純度低下を起こします。一方、液化空気量が多すぎると製品カスス圧カが低下するため、最適なバランスでの違転が必要となります。
为了寻找具有规定纯度的产品，有必要在蒸馏塔内进行蒸馏。为了做到这一点，需要恒定的L/V（El Bai Bui：下降液体与上游气体的数量之比）。塔内下降（回流液）的流量与塔底抽出的液化空气量成正比，液化空气量减少后，无法保持一定的L/V，导致纯度下降。另一方面，如果液化空气量太多，产品的压力就会下降，因此需要在最佳平衡下进行翻转。
したかって、本装置では液化品気流量（FICA3501）を一定とし、製品囬素ガス量の最大量を制御（FICA5221）し、L/Vを一定以上に保ち規定純度以上の製品冨素カスを供給できる制御としています。
因此，在本装置中，液化产品气流（FICA 3501）是恒定的，控制产品的最大气体量（FICA 5221），并控制L/V保持在一定水平以上，以供应规定纯度以上的产品富士渣。
（6）製品純度の制御（6）控制产品纯度
製品䆟素カス中の酸素純度は、常時、分析計(Q15221)にて測定指示されています。
产品中的氧纯度总是用分析仪（Q15221）测量。

直ちに遮断升（XV5221）が閉となります。この操作により、空気分離器と送カスラインは切り離され純度汚染が防止されます。
立即切断升（XV 5221）关闭。通过这种操作，空气分离器和输气管线被分离，以防止纯度污染。
(7)製品発生量の制御（7）控制产品数量

原料空気量の增減で対応し、余殐空氮は空気圧䊀僟出口にて放風されます。なお、不足分けバックアップンクより供給されます。
与原料空气量的增减相对应，剩余的空氮在气压出口被放风。此外，它将由短缺的备份提供。

2. 設置 2.安装（Installation）

細は据付要領謦を参照願います。なお、窒素製造装賣全体の消火活動が出来る消火颜備（消火拴、消火器等）を適切な配嗔で設けて下さい。
详细请参照安装要领。另外，请设置能够进行氮制造装备整体的灭火活动的灭火面备（灭火绳、灭火器等）。

ことを前提に設䂥されています。它是在这一前提下重新设计的。

何等かの原因で大気中の炭化水素䢗度か異常に増加した場合、
因某种原因大气中的碳氢化合物含量或异常增加的，

し、条件によっては塂発にいたる可能性があります。而且，根据条件，有可能会有一个更新。

近隣の工場からの排出ガス、周辺の火災、火山の櫴火、プロパンガス等の漏洩等により大気中の炭化水素濃度か買常に高くなった場合には、直ちに後貶連絡先にこ連絡ください。
如因附近工厂排放的废气、周边火灾、火山的反复火灾、丙烷气体等泄漏而导致大气中的碳氢化合物浓度升高或采购量过高，请立即与我们联络。

3. 運翰 3.运翰（音译）

(1)ユニット内は、蒋置運䎐中、停止中共に、憲素濃度の高いガスが充満している可能性があります。窒袁カスを吸引すると窒息し、死亡に至る場合があります。違転中、停止中共に換気搨を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入
（1）机组内，蒋置运改过程中和停止过程中，都有可能充满了高浓度的宪素气体。吸入氮袁渣会窒息，甚至可能导致死亡。在不转中、停止时都要旋转换气，在机组内进行换气。进入单位。

度が

19 \sim 22 %

（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。コニット内には酸表
确认度为

19 \sim 22 %

（正常值）后，请打开门进入单元内。康尼特内含有酸表

異常低下（19%以下）、および酸責浩度翼常上星（ 2 2％以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。バトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。
它捕捉到异常下降（19%或更低）和酸性高度翼常上星（22%或更高），并触发了一个指示灯。杆灯亮灯的情况下，绝对不要进入单元内。

∠ 4

②感電を防ぐため運転盤、電気盤、モーターその他の電気系統の露出部分には絶対に触らないでください。また、装置の保守点検を行う場合は必ず電源を切ってください。
为了防止触电，绝对不要触摸司机盘、电盘、马达及其他电气系统的露出部分。另外，在进行装置的保养检查时，必须切断电源。

(3)安全升の元升は常時開にして下さい。元升には開操作防止用のスペーサー及ひ「「常時開」の表示板が取り付けてあります。元弁が閉まっていると機器が破裂する恐れがあります。
（3）安全升的元升请平时打开。元升上安装有防止打开操作用的衬垫以及“常时打开”的标识板。如果原阀门关闭，设备可能会破裂。

	\注意 \注意
感	(1)ユニット内は、装置運転中、停止中共に、酸素湦度の高いカスが充満している可能性があります。酸素恠度の高いガス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。運転中、停止中共に換気屚を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より覗き、必ず酸素摆度が19〜22%（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素濃度計を設置し、酸素濃度を常時測定しています。酸素滍度異常低下（19%以下）、および酸素濃度異常上昇（ 2 2%以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトか点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。（1）单元内，在装置运转中、停止中，都有可能充满了氧度高的渣。在高氧气强度的气体中，如果使用火焰，就会发生爆炸性火灾。运转中、停止时都要旋转换气钢管，在单元内换气。进入单元内时，首先要从测量室的门的窗户窥视，确认氧气摆度为19~22%（正常值）后，打开门进入单元内。在机组内安装了一个血氧计，不断测量氧气浓度。它捕捉到氧气水平异常下降（19%或更低）和氧气水平异常上升（22%或更高），这就是为什么爱国灯被打开的机制。如果帕特拉或亮灯，请绝对不要进入单元内。
会	(2)計測室ユニットには、製品窒素カスの純度測定のためのTO A か設置されています。TOAの排出ガスは、ユニット外に放出するようにしていますか、配管の漏れ等で、ユニット内に放出され、ユニット内に充満する恐れかあります。運転中は常時換気属を回し、ユニット内を換気して下さい。TOAの排出カスはにおいがあります。異臭がある場合はユニット内に入らないで下さい。（2）在测量室单元中安装了TOA或TOA，用于测量产品氮渣的纯度。TOA的排放气体有可能排放到单元外，或者由于管道泄漏等原因排放到单元内，充满单元内。运转中，请随时旋转换气属，在单元内换气。TOA的排气渣有气味。如果有异味，请不要进入装置内。
	(3)升の操作は急激な操作を避けて、各部の状態を確認しつつ升の開開操作を慎重に行って下さい。（3）升的操作避免急剧的操作，一边确认各部分的状态，一边慎重地进行升的打开操作。
	(4)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。２階から３階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを開めてから梯子を登って下さい。ハッチを閉める際は指はさみ等に気を付けて下さい。（4）在日常检查中爬单元内的梯子时，有跌落的可能性。请你足够小心。当你从二楼上到三楼时，一定要打开二楼的舱口，然后爬上梯子。关闭钩子时，请注意手指剪刀等。
	（5）２F天井にマンホールより３Ｆに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。（5）从检修孔进出2 F天花板时，有可能跌落受伤。此外，你可能会在检修孔上涂抹手指或击中头部而受伤。请你充分注意。

\注意感 (1)ユニット内は、装置運転中、停止中共に、酸素湦度の高いカスが充満している可能性があります。酸素恠度の高いガス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。運転中、停止中共に換気屚を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より覗き、必ず酸素摆度が19〜22%（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素濃度計を設置し、酸素濃度を常時測定しています。酸素滍度異常低下（19%以下）、および酸素濃度異常上昇（ 2 2%以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトか点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。会 (2)計測室ユニットには、製品窒素カスの純度測定のためのTO A か設置されています。TOAの排出ガスは、ユニット外に放出するようにしていますか、配管の漏れ等で、ユニット内に放出され、ユニット内に充満する恐れかあります。運転中は常時換気属を回し、ユニット内を換気して下さい。TOAの排出カスはにおいがあります。異臭がある場合はユニット内に入らないで下さい。 (3)升の操作は急激な操作を避けて、各部の状態を確認しつつ升の開開操作を慎重に行って下さい。 https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-09.jpg?height=130&width=147&top_left_y=1610&top_left_x=294 (4)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。２階から３階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを開めてから梯子を登って下さい。ハッチを閉める際は指はさみ等に気を付けて下さい。 https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-09.jpg?height=131&width=151&top_left_y=1818&top_left_x=294 （5）２F天井にマンホールより３Ｆに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。

| | \注意 | | :---: | :---: | | 感 | (1)ユニット内は、装置運転中、停止中共に、酸素湦度の高いカスが充満している可能性があります。酸素恠度の高いガス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。運転中、停止中共に換気屚を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より覗き、必ず酸素摆度が19〜22%（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素濃度計を設置し、酸素濃度を常時測定しています。酸素滍度異常低下（19%以下）、および酸素濃度異常上昇（ 2 2%以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトか点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。 | | 会 | (2)計測室ユニットには、製品窒素カスの純度測定のためのTO A か設置されています。TOAの排出ガスは、ユニット外に放出するようにしていますか、配管の漏れ等で、ユニット内に放出され、ユニット内に充満する恐れかあります。運転中は常時換気属を回し、ユニット内を換気して下さい。TOAの排出カスはにおいがあります。異臭がある場合はユニット内に入らないで下さい。 | | | (3)升の操作は急激な操作を避けて、各部の状態を確認しつつ升の開開操作を慎重に行って下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-09.jpg?height=130&width=147&top_left_y=1610&top_left_x=294) | (4)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。２階から３階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを開めてから梯子を登って下さい。ハッチを閉める際は指はさみ等に気を付けて下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-09.jpg?height=131&width=151&top_left_y=1818&top_left_x=294) | （5）２F天井にマンホールより３Ｆに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。 |

運転前の確認車項には、定期点検や保守を実施した場合の初期確認と運転開始前の起動前確喼があります。起動前確認は運転の際、毎回実施して下さい。
在运转前的确认车辆项中，有实施定期检查和保养时的初期确认和运转开始前的起动前确认。起动前确认在运转时，请每次实施。
（1）初期確認定期修理後などに起動する場合は以下の点を確認して下さい。 - 全ての保守、点検工車が完了し機器廻りは整備、滑掃されていること。
（1）初期确认定期修理后起动时，请确认以下几点。- 所有保养、检修工车均已完成，机器回转均已维修、滑动。

各井、安全并、計器などが正規の場所に取り付けられていること。
各井、安全和仪表等安装在正规的场所。
各機器、并、計器の整備、単体チェックが完了し、使用可能であること。
各机器、并列、仪表的保养、单体检查完成，可以使用。
電気計装のループ、シーケンスチェックが完了し、使用可能であること。
电气仪表回路、序列检查应完成并可使用。
常温起動の場合は、プラントの低温部分の全加熱が終了していること。
常温起动的情况下，工厂低温部分的全部加热结束。
（2）起動前確認（2）启动前确认
本装置は自動起動ですか、起動準備は手動にて樴側および現場にて行います。
本设备是自动启动的，启动准备是手动在供应方和现场进行的。
(1)全ての計装元井および全ての安全弁元弁が全開であることを確䝆して下さい。閉の場合は全開として下さい。（現場サンプリング（分析や圧力取りだし）用咕㳖元并を除く。特にコールドボックス真空測定用元井は測定時以外絶対に開けないで下さい。）
（1）确保所有仪表元井及所有安全阀元阀均全开。关闭时，请打开全部打开。（除去现场取样（分析和压力提取）用的逗号元并列。特别是冷箱真空测量用原井，除测量时以外绝对不要打开。）
②動力設備か使用可能であることを確急して下さい。詳細は高圧盤、低圧盤取扱㗈明着をご参照下さい。
请务必确认是否可以使用电源设备。详细情况请参照高压盘、低压盘处理的装订。
③保全、安全について準備、整備が終了していることを確認して下さい。
请确认关于钢管保护、安全的准备、整备已经结束。
（3）各機器と系統の迨䎐準備（3）建立各种设备和系统;
(1) 冷却塔䕉転集備（1）冷却塔转载备
冷却水補給水升元井（ $(1144$ ）の開を確認して下さい。
请确认冷却水补给水升元井（ $(1144$ ）的开。
使用ポンブの入口升（A1145またはA146）及び出口井（A1153またはA1154）の開を確涊して下さい。
保持使用泵的入口升（A1145或A146）及出口井（A1153或A1154）的打开。
使用ポンブのエアー抜き井を開としてエアーを抜いた後、開として下さい。
把使用的泵的排气井打开，抽出空气后，打开。
冷却塔の泠却水面が正常であることを確認します。不足している場合は、椧却水が排水ラインヘオーバーフローするまで冷却水を補給して下さい。
冷却塔的扣押确认水面正常。如果冷却水不足，请补充冷却水，直到排水管溢出。
現場盤にて露源を投入して、使用する水ポンプを選択し、運䎐モードを「違方」とします。詳細は冷却塔制御盤取扱説明鲁をこ参照下さい。
在现场盘上投入露头，选择要使用的水泵，将输送模式设为“异方”。详细情况请参照冷却塔控制盘使用说明鲁。

(2)空気圧縮機起動準備（2）空气压缩机起动准备

オイルタンクの油面が正常であることを確認して下さい。
请确认油箱的油面正常。
主電源、制御䍞源を投入して下さい。请输入主电源、控制电源。
泠却水主管出入口升および各クーラー出入口井の全開を確媤して下さい。
请确保将水主管出入口升以及各空调出入口井的全开。
各計装元井の全開を確億して下さい。请确保各仪表元井的全开。

各計器元升の全開を確旺して下さい。请确保各仪表元升的全开。
CRT グラフィック画面でMS切換タイマーの位置とともに、遢䎐 SW が停止术ジシヨンであることを確認して下さい。
在CRT图形画面上，请确认MS切换计时器的位置，以及凤凰SW是停止术智英。
MS 切換タイマーを進める要否は、3.(7)「停止後の㖶転再開」を参照して下さい。
是否需要推进MS切换计时器，3。（7）请参见“停止后重新启动”。

④コールドボックス起動準備冷盒子准备好了。

各計器元井および安全并元井の全開を確慜して下さい。
请确保各仪器元井以及安全并元井的全开。
ドレントラッブ元升（A1751）、バランス并（A1754）の全開を確認して下さい。
请确认排水阀元升（A1751）、平衡并列（A1754）的全开。
計装空気バックアップ元井（A5201）の全開を確照して下さい。
请检查仪表空气备份原井（A5201）的全开。
ETペアリングカスバックアップ元并（A5202）の全開を確認して下さい。
请确认ET配对卡备份源并列（A5202）的全开。
コールドボックススロ弁（A2403）の全開を確認して下さい。ただし、コールドボックス内が保圧されている場合は、CRT グラフィック画面でMS切換タイマーが充
确认冷箱槽阀（A2403）的全开。但是，在冷箱内被保压的情况下，在CRT图形画面中充满MS切换计时器

圧工程にないことを確認して、開として下さい。确认压力工序中没有，请打开。

水冷却器の椧却水出口并（A2481）の開を確認して下さい。
请确认水冷却器的排水口并列（A2481）的打开。
上記以外の手動并の開を確熟して下さい。请确保上述以外的手动并列的打开。

⑤計蒋空気、ETベアリングガス準備仪表蒋空气、ET轴承气体准备

計装用空気およびET ペアリングガスは、バックアップ設備からの供給となります。
仪表空气和ET配对气体将由备用设施提供。
所定の圧力で供給されていることを確韵して下さい。请确信以规定的压力被供给的事。
ETペアリングガスバックアップ元弁（A5202）の全開と、ETベアリングガス圧カ指示計（PIS3321）の圧力か 0.6 MPa 以上であることを確認して下さい。
请确认ET配对气体备份源阀（A5202）的全开和ET轴承气体压力指示计（PIS3321）的压力或0.6 MPa以上。
（注） 0.6 MPa 以下の場合、 0.6 MPa 以上となるように PV3320（減圧弁）を調節して下さい。
（注）0.6 MPa以下时，请调节PV3320（减压阀）使其达到0.6 MPa以上。
（注）起動時および停止時はバックアップ設備からの計㳖空気およびET ベアリングガスを使用します。起動後は本装置にて自給します。
（注）启动和停止时，使用备用设备的计量空气和ET轴承气体。启动后，由本装置自给。

⑥液化窒素貯槽液化氮储槽

ほほ満液で有ることを確㦙してください。请确保你在液体中找到的东西。
所定の圧力（ $0.8 \sim 0.9 MPa$ ）に加圧されていることを確認してください。
请确保您的设备被加压到规定的压力（ $0.8 \sim 0.9 MPa$ ）。
（注）眝槽の純度污染を防止するため常に精留答圧力以上に保ってください。また、
（注）为了防止钢管槽的纯度污染，请经常保持在精留响应压力以上。此外，它还
ーリーからの移液時の圧力低下にも充分注意して下さい。
也请充分注意从李移液时的压力下降。
（4）装置の起勥（4）设备的翻新。
装置を起動する前の状態は、コールドボックス内が全加熱により常温となっている場合と、短期停止後の起動でコールドボックス内が泠えており、精留塔下部に液化空気が溜まっている場合があります。
装置起动前的状态有，冷箱内由于全部加热而达到常温的情况，以及由于短期停止后的起动而冷箱内被储存，液化空气积存在精留塔下部的情况。

前者の状態から起動する場合を常温起動、後省の状態から起動する場合を低温起動と称します。低温起動は常温起動に比べ起動時間が短くなります。常温起動か、低温起動かは、装䁲停止後の時間が目安となり、啨留塔下部に液があり、コールドポックス内が保王されている状態であれば低温起動が可能です。熱儇入のため液が無くなり、コールドボックス内が常圧となっている場合は、水分が侵入している恐れのあるため、全加熱後、常温起勤となります。
从前者状态起动时称为常温起动，从后省状态起动时称为低温起动。与常温启动相比，低温启动需要更短的启动时间。常温起动还是低温起动，以安装停止后的时间为基准，如果在安装塔下部有液体，冷波克斯内处于保王状态，低温起动是可能的。当液体由于加热回流而消失，冷箱内处于常压时，由于有水分侵入的危险，所以在完全加热后，就会开始常温起勤。

㳖置兌転中の現場確認の際は以下の覘項に気を付けて下さい。
在查明被转移的地方时，请注意以下藏匿情况：


$\infty$	高いガスを放出します。㡙素ガスを吸引すると䔰息し、死亡に至る場合がありますので、ガス放出口には近づかないで下さい。它释放出大量的气体。吸入气体的话，有可能会呼吸，导致死亡，所以不要靠近气体排放口。

(1)MS吸着器、MS再生加熱器および周辺配管に触らないで下さい。商温のため火傷の危険があります。点検の場合、充分に泠却して作業を行って下さい。
（1）不要触摸MS吸附器、MS再生加热器以及周边配管。由于温度过高，有烧伤的危险。如果是检查的话，请把它充分地储存起来，然后继续工作。

高いカスを放出します。酸﨡濃度の高いカス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。ガス放出口付近では、火気を使用しないで下さい。
把高的垃圾放出来。在高浓度的酸渣中使用火焰会引起爆炸性火灾。不要在气体排放口附近使用火焰。

設畤しています。何らかの原因（近隣の工場からの異常排出、周辺の火炎発生、火山の嘻火等）で炭化水票成分か、通常の
我是设定鲁布的。由于某种原因（附近工厂的异常排放、周边的火焰发生、火山空间火等），是否是碳化水票成分，

し爆発する可能性があります。大気成分の哄常が高濃度であったり、長時間緦いたような場合には後記連絡先にこ連絡下さい。
它有爆炸的可能性。大气成分的搅动浓度高，或者长时间搅拌的情况下，请联系后记的联系方式。

(4)迋䎐中1Fユニット内は負圧となっていますので、ドアが急激に閉まり手指などを抰み怪我をする可能性がありますのて、十分に注意して下さい。
（4）因为其中1 F单元内是负压，门急剧关闭，手指等有可能会扭伤受伤，请充分注意。

| | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=81&width=357&top_left_y=1364&top_left_x=890) | | :---: | :---: | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=130&width=265&top_left_y=1479&top_left_x=299) | (1)MS吸着器、MS再生加熱器および周辺配管に触らないで下さい。商温のため火傷の危険があります。点検の場合、充分に泠却して作業を行って下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=204&width=265&top_left_y=1672&top_left_x=299) | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=54&width=1199&top_left_y=1672&top_left_x=613)高いカスを放出します。酸﨡濃度の高いカス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。ガス放出口付近では、火気を使用しないで下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=161&width=141&top_left_y=1894&top_left_x=299) | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=54&width=1199&top_left_y=1881&top_left_x=613)設畤しています。何らかの原因（近隣の工場からの異常排出、周辺の火炎発生、火山の嘻火等）で炭化水票成分か、通常の ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=52&width=1154&top_left_y=2031&top_left_x=659) し爆発する可能性があります。大気成分の哄常が高濃度であったり、長時間緦いたような場合には後記連絡先にこ連絡下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-12.jpg?height=128&width=139&top_left_y=2227&top_left_x=299) | (4)迋䎐中1Fユニット内は負圧となっていますので、ドアが急激に閉まり手指などを抰み怪我をする可能性がありますのて、十分に注意して下さい。 |

(1)起趿隼席（1）起遁隼席

本菨四は起動前にCRT グラフィック画面のモード選択SWによりタービン有りまたは無し璉乾を選択しておく必要があります。起動後は、タービンの有無を変更す
本4在启动前必须通过CRT图形画面的模式选择SW选择有涡轮机或无涡轮机。启动后，改变涡轮机的有无。

ることはできません。你不能这样做。

CRT グラフィック画面上部の警報ランプ表示を確認し、警報の出ている場合は警報をキャンセルして、警報が全て解除されていることを確認してください。
检查CRT图形画面上部的报警灯显示，如果有报警，请取消报警，确认报警全部解除。
(2) 起動操作（2）启动操作

本装置は CRT グラフィック画面の運転 SWを押すことにより、前述の常温起動、低温起動を自動的に判定し、起動するシステムとなっています。
本装置是通过按下CRT图形画面的运转SW，自动判定上述常温起动、低温起动，并起动的系统。

運転 SWを押して下さい。请按下驱动器SW。
その後、起動指令により自動的に起動します。詳細は自動起動フロー図をこ参照下さい。
然后，它将根据启动指令自动启动。详细情况请参照自动启动流程图。
(5)装置の定常運転（5）设备的正常运行

起動後は 1 。の（3）の制御により自動運転されます。
启动后，1 。在第（3）项下，它是自动运行的。
(1)ETトラブル時の自動処理（1）ET故障时的自动处理

定常運転中にETベアリングカス圧カが低下し、警報値（ 0.5 MPa ）に達した場合、ベアリングが接触する(かじる)恐れがあるため装置は瞬時に自動停止します。
在稳定运行期间，当ET轴承间隙压力下降，达到警报值（ 0.5 MPa ）时，轴承可能会接触（咬），设备会立即自动关闭。
ETが故障により運転不可能な場合、ET無し運転モードを莮択し、再起勤することにより運転可能ですが、ET 有りモードよりも製品量は低下します。
当ET由于故障而无法运行时，可以通过重复选择无ET运行模式并重新启动运行，但产品数量比有ET的模式低。
(2)空気分離器トラブル時の自動処置（2）空气分离器故障时的自动处理

運転中空気分離器にトラフルが発生した場合、送カス遮断もしくは装置停止となります。
如果空气分离器在运行过程中发生故障，则将导致输渣关闭或设备关闭。
(3)製品窒素純度低下時の自動処置（3）产品氮纯度降低时的自动处理

酸素漕度が軽故障設定値以上で警報が表示され、重故障設定値以上で遮断井が閉となります。
当氧气水平大于或等于轻度故障设定值时，就会发出警报，当严重故障设定值以上时，关闭井就会关闭。

④その他の軽故障時の自動処置 ④其他轻微故障时的自动处理
その他の軽故障は整報のみ表示となります。其他轻微故障将只显示完整的报告。

重故障および軽故障の詳細は「インターロックリスト • 警報リスト」を参照下さい。
严重故障及轻故障的详细情况请参照“联锁列表警报清单”。
（6）装置の停止（6）停止设备。
(1)通常停止（1）通常停止

本装置は CRT グラフィック画面の停止 SWを押すことにより、いずれの運転モ一ドにも係わらず同じ手順で自動停止されます。停止後の再起動を考えた場合、MS吸曾器の再生状況を確認の上、停止時期を決定ください。MS 吸著器の最善の停止タイミングは、泠却終了直後になります。
通过按下CRT图形屏幕上的停止 SW，本装置将以相同的程序自动停止，而不管运行模式如何。如果考虑在停止后重新启动，请确认MS吸盘的再生状态，然后决定停止时间。关闭MS吸附器的最佳时间是在释放结束后立即。

停止 SWを押して下さい。请按下停止 SW。

「制御装置アプリケーション仕様㘊」を参照下さい。请参阅“控制器应用规范”。
（2）緊急停止（二）紧急停止
本装置には㳖置保睢のためのインターロックがあり、異常時には自動的に装置が停止致します。又、緊急に㳖買停止したい場合は空気圧樎機の機側制御盤の停止SW
本装置有一个联锁，用于设置和维护，当出现异常时，装置会自动停止。另外，紧急想反复停止购买的情况下，气压电压的机侧控制盘的停止SW

装置操作説明辯」を参照下さい。请参照“装置操作说明”。
（7）停止後の摆転再開（7）停止后的重新开始
MS 吸着器の停止後の濢転再開は、停止時の停止状態により下記の手順にて行い、所定の単独再生が終了した後、コールドボックスの起動や全加熱を実施願います。また、
MS吸附器停止后的转转重新开始，根据停止时的停止状态按照以下顺序进行，在规定的单独再生结束后，请进行冷箱的起动和全部加热。此外，它还
運転再開後、吸著器入口温度が規定値以下であることを確認して下さい。
运转重新开始后，请确认吸附器入口温度在规定值以下。

再生筒再生筒（再生筒）

=

注癔

=

=

注意到

=

単独再生とは、MS 吸管器を再生するために、その再生カス量に見合う空氮量だけを吸着工程にある吸着器へ導入する方法です。したかって、再生カスは分離器の廃ガスではなく、MS 吸浩器の精製空気を使用します。
单独再生是一种方法，只将与再生渣量相匹配的空氮含量引入吸附过程中的吸附器中，以再生MS 吸管器。想要再生的渣不是分离器中的废气，而是使用MS 吸浩器中的净化空气。
吸著温度上界など、吸着に過負荷をかけて停止した場合は、再生状況監視を確実に行い、監視点温度を正常時と比較して、加熱到遼温度の低下や再生温度カープの䆻化か観られたら、単独再生を継繶して正常に哭して下さい。
在吸附温度上限等吸附上施加超负荷而停止的情况下，确实地进行再生状况监视，将监视点温度与正常时进行比较，如果观察到加热到焦耳温度的降低和再生温度卡普的变质，请继续单独再生，正常哭泣。
再生を完了した停止であっても、48時間以上停止した場合、MS 吸㚇器を閒放した場合、または井 • 配管等の点検でMS 吸着器内部が大気に接した可能性がある場合
即使是完成了再生的停止，在停止了48小时以上的情况下、释放MS吸取器的情况下、或者在井、配管等的检查中MS吸附器内部有可能接触到大气的情况下

には、単独再生を実施して下さい。所以，请单独进行再生。

必要によりMS 切換タイマーを歩進させる場合には、筒内圧力（両筒共）が 0.05 MPa以下になっていることを確認後実施して下さい。（残圧がある場合に歩進すると吸着器内部を破損する場合があります。脱圧用電磁井（KV2412 またはKV2422）を操作して圧抜きを行って下さい。) なお、MS 切換タイマーを進めるにはMS 吸着器運䎐 SWを停止ボジションにし、歩進 SWまたは早送 SWを押すことで切換タイマーを適切なボイントに設定して下さい。（CRT グラフィック画面で確㤎しなから撮作して下さい。）
根据需要使MS切换计时器前进时，请确认筒内压力（两筒均）在0.05 MPa以下后实施。（在有残余压力的情况下，如果前进，吸附器内部可能会损坏。）请操作脱压用电磁井（KV 2412或KV 2422）进行排压。）另外，为了推进MS切换计时器，请将MS吸附器运流SW设置为停止位置，通过按下渐进SW或快进SW，将切换计时器设定为适当的旋转。（请从CRT图形屏幕上制作一个精心制作的视频。）
また、コールドボックス内が泠え、保圧されている場合は、必ずコールドボックス入ロ井（A2403）を閉としてからMS 切換タイマーを操作して下さい。充圧のポジシヨンでコールドボックス内の泠気が逆流し、炭素鋼配管が破損する場合があります。
另外，冷箱内装入，在被保压的情况下，请务必将冷箱内入井（A2403）关闭后，操作MS切换计时器。在充满压力的Possiyon下，冷箱内的储存气体可能会回流，碳钢管道可能会损坏。

定期䍀理、あるいは何らかの理由によってMS 吸著器を単独て再生することが必要となった場合、MS 吸著器の単独再生ができるように燝画されています。
在定期重印或出于某种原因需要单独再生MS吸附器的情况下，为了使MS吸附器能够单独再生而进行了修订。

単独再生は CRT グラフィック画面の単独再生SWを選択することで行います。
单独播放是通过选择CRT图形屏幕的单独播放SW来完成的。
起動の前には、「3. 選晥」の（1）初期確認および（2）起動前確認を実施して下さい。
在启动之前，“3。请进行“的（1）初期确认以及（2）启动前确认。
（1）単独再生の蕉備（1）单独再生的香蕉备
（1）冷却俈～MS 吸着器起陻準備（1）冷却涓~MS吸附器起爱的准备

②コールドボックス起動集備 ②冷箱起动集备
「 3 . 運䎐」の（3）各機器と系統の運転準備(4)を参照して下さい。
“第三个。请参照“运”的（3）各机器和系统的运转准备（4）。

て下さい。请给我。
(3)計装空気、ETベアリングカス準備（3）仪表空气、ET轴承渣准备

（2）装置の起動（2）装置的启动

モード選択SWはET有、ET無のいずれでもかまいません。
模式选择SW可以是ET有，也可以是ET无。
MS 単独再生 SWを選択して下さい。请选择MS单独播放SW。
買䎐 SWを押して下さい。请按一下SW的要求。
（3）MS 吸着器停止時期の決定（3）MS吸附器停止时间的决定
確認の上、停止時期を決定します。MS 吸警器の儌䕗の停止タイミングは、冷却終了亩後になります。
确认后，决定停止的时间。MS吸警器的停止时间是在冷却结束后。
倧止SWを拥して下さい。请拥有剥止SW。

5. 全加繁 5.全加繁

本装置は低温部への水分および二酸化炭素の混入はほとんどないため、䒾置の全加熱は、非常に長期間の運転後や熱交換器等に異常な圧力損失が観られるなど何らかの異常かない限り必要有りません。したかってて、一部の機器のオーバーホール、または、補修を行う場合、MS 吸蓉器やその下流側へ水分や二酸化炭素が俊入しないような処置を施してから実施して下さい。
由于本装置的低温部分几乎不混入水分和二氧化碳，因此除非有任何异常情况，例如在长时间运行后或热交换器中观察到异常的压力损失，否则不需要对该装置进行全面加热。因此，在对某些设备进行大修或维修时，请在进行前采取措施，防止水分和二氧化碳流入MS吸脂器或其下游。

また、修理等のため長期にわたり装置を停止する場合も、分離器への水分や二酸化炭素の俼入防止対策として、全加熱が必要となります。
此外，当设备因维修等原因长时间关闭时，有必要进行完全加热，以防止水分和二氧化碳流入分离器。
(1) MS 吸若器圧力と精留塔圧力間の圧力損失が増加した場合。

\to

主熱交換器の原料空気ラインに蓄積。
（1）MS吸若器压力与精留塔压力之间的压力损失增加时。

\to

积累在主热交换器的原料空气管道中。
(2) 精留塔圧カと製品窒素ガス圧力間の圧力損失が増加した場合。

\to

精留塔および主熱交換器窒素ラインに蓄積。
（2）精留塔压卡与产品氮气压力之间的压力损失增加时。

\to

积累在精留塔以及主热交换器氮线上。
③ コールドボックス出ロ窒素温度の温度が下がった場合。
冷箱出氮温度下降时。

\to

主熱交換器の窒素ライン及び空気ラインに蓄積が起こり、伝熱効率が低下。

\to

主热交换器的氮线及空气线发生蓄积，传热效率降低。
(4) より多くの液化窒素を注入しないと精留塔液面が下がる場合。
（4）如果不注入更多液化氮，精留塔液面下降的情况。
－（3）場合と同様、主熱交換器の蓄積により伝熱効率が低下し、より多くの寒泠要。
- （3）与情况一样，由于主热交换器的积累，传热效率降低，更多的感冒需要。

以上の(1)〜(4)の現象は、徐々に進行し、急激に進むことはありません。したがって、装置の停止、全加熱の時期を前もって計画することができます。
上述现象（1）至（4）是渐进的，不会突然发生。因此，您可以提前计划设备的停机时间，完全加热的时间。

なお、全加熱運転についても MS 吸首器は、常に再生を実施しなから全加熟を行う必要があります。
此外，即使在完全加热操作中，MS吸颈器也必须在不断再生的情况下进行完全成熟。

この全加熱操作は全て、運転員による手動操作となります。
所有这些加热操作都是由操作员手动操作的。

注意事項注意事项（备注）
① ET の保謨のため、ET 入口升（B3341）の閉を確認して下さい。
请确认ET入口升（B3341）的关闭，以保证① ET的保护。
②全加熱を実施する場合は、必ず ET ベアリングカスを流し、加温ガスが ET を通過して万ー回転しても、ETが破損しないようにします。
在进行全加热的情况下，必须流过ET轴承渣，即使加温气体通过ET进行万转，ET也不会破损。
③安全井元升、計装用元升を開として、万一圧カの上萛があってもそれを監視し、適切な処置がとれ、かつ、安全并により機器に損错を与えないようにします。
以安全井元升、仪表用元升为开，即使有万一压卡的上坟也要对其进行监视，采取适当的处理，并且，安全和不给机器造成损坏。
(1)準備（一）准备
(1)前処理設備（冷却塔〜MS 吸着器）の起動準備
（1）预处理设备（冷却塔~MS吸附器）的启动准备

「 3 . 運転」の（2）起動前確認および（3）各㙨器と系統の起動準備（1～③、、⑤則して、前処理設備の起動準備を行って下さい。
“第三个。运转”的（2）起动前确认以及（3）各搅拌器和系统的起动准备（1~ ±，，项则，进行前处理设备的起动准备。

以下のバルブを全開にし、装置内の残液を放出します。この時、貯㫪の注入井（M1）が閉まっていることを確認してください。
将下列阀门全部打开，以释放设备中的残余液体。此时，请确保存储库中的注入井（M1）已关闭。

液空プロー升 B3501, B3502 液空升 B3501、B3502
液窒ラインブロー升 B3521 液氮线吹升 B3521
ET入ロブロー升 B3342 ET入ロロブ升 B3342
液空流量調節升液空流量调节升
FV3501 F3501
液化窒素注入并液化氮注入并
LV3501 L3501
気液分離器液面調節升气液分离器液面调节升
LV3502 第3502章
全量放出後は、ET スロプロー升（B3342）、液空流量調節升（FV3501）、気液分離器液面調節井（LV3502）及び液化窒素注入井（LV3501）を閉として下さい。
全部放出后，请关闭ET慢升（B3342）、液空流量调节升（FV 3501）、气液分离器液面调节井（LV 3502）以及液化氮注入井（LV 3501）。
(3)弁の開閉確慙（3）关闭的确定

MS 吸着器以降について、以下の通り準備して下さい。その他については起動前の準備に準じて行って下さい。
关于MS吸附器以后，请如下准备。其他请按照启动前的准备进行。

ET入口升 ET入口上升	B3341	関
液空プロー井液空Pro-井	B3501, B3502 B3501和B3502	関	消音器取付消音器安装
液窒ラインブロー井液氮线吹井	B3521	閉
ETスロブロー井 ET斯洛布鲁井	B3342	閉	消音器取付消音器安装
液空流量調節升液空流量调节升	FV3501	閉
低温圧樎機入口流量調低温压机入口流量调	FV3503	閉	起動後運䎐モードをMANで閉启动后在MAN中关闭搬运模式
節升节升（节升）
液化窒㨼注入升液化氮注入升	LV3501	閉
気液分離器液面調節升气液分离器液面调节升	LV3502	閉

＊ETペアリングカスは規定圧カで供給して下さい。 *ET配对渣请用规定压卡供给。

全加熱も同じ自動起動プログラムを使用するため、ET入ロ井（B3341）及び液化窒素注入井（LV3501）は必ず開として下さい。
全加热也使用相同的自动起动程序，因此ET入井（B3341）及液化氮注入井（LV 3501）必须打开。
（2）全加熱操作（2）所有加热操作

今注展现注展

为

全加熱の初期にはユニット内に、酸素濃度の高いカスが放出される可能性があります。酸素㴘度の高いカス中で、火気を使用すると爆発的な火炎を生じます。換気扇を回し、ユニット内を換気して下さい。
在整个加热的早期阶段，有可能在单元内释放出高氧浓度的浮渣。在氧气高度的浮渣中，使用火焰会产生爆炸性火焰。转动换气扇，在单元内换气。

CRT グラフィック画面のMS 単独再生 SWを単独側に設定して運転することにより、自動的に空気圧縮機、MS 吸渚器が運韓されます。全加熱は起動後、以下の弁操作によりMS 吸堦器出口のドライカススて実施されます。
通过将CRT图形画面的MS单独播放SW设定在单独一侧并进行运转，空气压缩机、MS吸附器自动搬运。在启动后，通过以下阀门操作，在MS吸入水器出口处进行干燥。

コールドホホックスロ弁冷霍霍氏瓣	A2403	半開半开（半开）	状況に応じて開度調整根据情况调整开度
液空プロー升液空Pro-up	B3501, B3502 B3501和B3502	開
低温圧縮機入ロプロー升低温压缩机入转子升	B3503	開
低温圧縮機出ロブロー并低温压缩机出罗夫和	B3504, B3505 B3504和B3505	開
液聜ラインブロー升液涓线吹升	B3521	開
液空流是調節并液空流是调节并	FV3501	全開全开（全开）	MAN で開在男人面前打开。
	LV3501	全開全开（全开）	MAN で開在男人面前打开。
気液分離器液面調節升气液分离器液面调节升	LV3502	全開全开（全开）	MAN で開在男人面前打开。

効率よく早く全加熱を実施するためには、精留塔ブロー并（B3501, B3502）からの放出ガスが常温となるまで、主熱悤換器側に低温ガスが流れないように、製品流冒調節升（FV5221）が開かず、原料空気圧力調節升（PV2401）が定常運転時以上に閉まらないよう精留塔プロー升（B3501, B3502）を開として下さい。最初から廢カス及び管素ガス系統に多く加温ガス流すと常温の空気が主熱交換器て熱交換し、温端側だけ噮まり、冷端側か暧まりにくくなるため注意して下さい。
为了高效且快速地实施全加热，需要与精留塔吹制并列为了在来自（B3501、B3502）的排放气体达到常温之前，使低温气体不流向主热换器侧，请打开产品流调节升（FV5221），使原料空气压力调节升（PV2401）不超过稳定运转时关闭，打开精留塔升（B3501、B3502）。如果从一开始就大量加热气体流入废废气和管基气系统，常温空气通过主热交换器进行热交换，只在温端侧重复，在冷端侧难以模糊。

（3）全加草完了の確認（3）确认全草完成

各放出护からの放出ガス温度か常温となれば、他の加温未完ラインに多く流すよう操作します。温度指示または放出温度が常温になったら、全加熟完了になります。引き続き仕上げ加温（パージ）を行います。
如果是来自各排放保护的排放气体温度或者常温的话，向其他的加温未完线多流动的操作。当温度指示或释放温度达到正常温度时，整个成熟就完成了。继续进行最后加温（清除）。

①)仕上げ加温（2）完成加温
ここまでの加熱で、主熱交換器の加熱は空気系統 1 系統のみ通気させています。他の系統にガスを通気すると、主熱交換器で加熱カスと辕留塔より出される低温ガスの熱
到目前为止，主热交换器的加热只通过一个空气系统进行通气。向其他系统通气气体时，主热交换器加热渣和从留塔排出的低温气体的热

交換が行われ、加熱ガスが効率よく辕留塔に導入されなくなるためです。液空ブロー井（B3501, B3502）、液窒ラインブロー并（B3521）からの放出ガス温度が常温となったところで、ET 入ロプロー弁（B3342）を開とし、気液分離器液面調節并（LV3502）を 50%開とします。
这是因为进行了更换，加热气体将不会有效地引入到蒸馏塔中。在液空吹井（B3501、B3502）、液氮线吹合器（B3521）排放的气体温度达到常温时，将ET入低阀（B3342）打开，气液分离器液面调节合器（LV3502）打开50%。
つぎに、ETペアリングカスラインブロー并（A3522）、ET バイバス弁（PV3441）、廃カス放出井（PV3541）及び製品流量井（FV5221）を開けて、液空フロロー升（B3501, B3502）、低温圧縮機入ロプロー升（B3503）を絞り、主熱交換器を加熱します。
接着，打开ET配对排气阀（A3522）、ET旁路阀（PV3441）、废渣排放井（PV3541）及产品流量井（FV5221），缩小液空浮升（B3501、B3502）、低温压缩机入浮升（B3503），加热主热交换器。

主熱交換器を加温しながら、低温圧縮機を加温します。
在加热主热交换器的同时，加热低温压缩机。

(2)その他（二）其他事项

仕上げ加温中に、計装関係の導圧毛細管のブローを実施します。
在最后加热过程中，与仪表有关的传导毛细管被吹出。
仕上げ加温終了後は、大気に開放している全ての弁を閉めて、分離器内への大気中の水分等の侵入を防止します。
加热完成后，关闭所有向大气开放的阀门，以防止空气中的水分进入分离器。
（4）MS 吸着器停止時期の決定（4）MS吸附器停止时间的决定
全加熱の完了に伴い、機器を停止しますか、MS 吸着器は再生状況を確認の上、停止時期を決定します。MS 吸着器の停止タイミングは、4.MS 吸着器の単独再生を参照願います。最善のMS 吸着器の停止時期は冷却終了直後になります。
当整个加热完成后，设备将停止，MS吸附器将在确认再生状态后决定停止时间。关于MS吸附器的关闭时间，请参见4. MS吸附器的单独再生。关闭MS吸附器的最佳时间是在冷却结束后立即关闭。

6. 保守点惔 6.保守点到


$0, - \infty$	(1)ユニット内（計剆室ユニットを含む）は、装置運転中、停止中共に、窒素蛝度の高いカスが充満している可能性があります。窒素ガスを吸引すると窒息し、死亡に至る場合があります。運転中、停止中共に換気屈を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より䛠き、必ず酸素濃度が 19 〜 2 ％（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素湎度計を設置し、酸素虽度を常時測定しています。酸素摆度異常低下（ $19 %$ 以下）、および酸素蛽度異常上界（ $22 %$ 以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。（1）单元内（包括计量室单元），在装置运转和停止过程中，都有可能充满氮度高的渣。吸入氮气会导致窒息，甚至死亡。运转中，停止过程中同时旋转换气屈，在单元内换气。进入单元时，请先从测量室的窗户上取出，确保氧气浓度在19 - 2%（正常值）之间，然后打开门进入单元。在该单元内安装了一个氧气浓度计，并不断测量氧气含量。它是捕捉氧度异常降低（ $19 %$ 以下），以及氧度异常上限（ $22 %$ 以上），并点亮探照灯的机制。指示灯亮灯的情况下，绝对不要进入单元内。
	(2)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。2階から 3 階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを閉めてから梯子を登って下さい。ハッチを閒める際は指はさみ等に気を付けて下さい。（2）在日常检查中爬单元内的梯子时，有跌落的可能性。请你足够小心。从二楼到三楼时，请务必关闭二楼的舱口，然后爬上梯子。把闩锁挂在上面的时候，请注意手指夹等。
K	(3) 2 F天井にマンホールより3Fに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。（3）在二楼天花板上，从检修孔进出三楼时，有可能跌落并受伤。此外，你可能会在检修孔上涂抹手指或击中头部而受伤。请充分注意。
A	④感奄を防ぐため運転盤、電気盤、モーターその他の電気系統の踑出部分には絶対に触らないでください。また、装置の保守点検を行う場合は必ず電源を切ってください。为防止生锈，请勿触摸司机盘、电器、马达及其他电气系统的输出部分。另外，在进行装置的保养检查时，必须切断电源。

https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-21.jpg?height=83&width=360&top_left_y=1024&top_left_x=905 0,-oo (1)ユニット内（計剆室ユニットを含む）は、装置運転中、停止中共に、窒素蛝度の高いカスが充満している可能性があります。窒素ガスを吸引すると窒息し、死亡に至る場合があります。運転中、停止中共に換気屈を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より䛠き、必ず酸素濃度が 19 〜 2 ％（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素湎度計を設置し、酸素虽度を常時測定しています。酸素摆度異常低下（ 19% 以下）、および酸素蛽度異常上界（ 22% 以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。 https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-21.jpg?height=135&width=151&top_left_y=1727&top_left_x=311 (2)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。2階から 3 階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを閉めてから梯子を登って下さい。ハッチを閒める際は指はさみ等に気を付けて下さい。 K (3) 2 F天井にマンホールより3Fに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。 A ④感奄を防ぐため運転盤、電気盤、モーターその他の電気系統の踑出部分には絶対に触らないでください。また、装置の保守点検を行う場合は必ず電源を切ってください。

| | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-21.jpg?height=83&width=360&top_left_y=1024&top_left_x=905) | | :---: | :---: | | $0,-\infty$ | (1)ユニット内（計剆室ユニットを含む）は、装置運転中、停止中共に、窒素蛝度の高いカスが充満している可能性があります。窒素ガスを吸引すると窒息し、死亡に至る場合があります。運転中、停止中共に換気屈を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より䛠き、必ず酸素濃度が 19 〜 2 ％（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素湎度計を設置し、酸素虽度を常時測定しています。酸素摆度異常低下（ $19 \%$ 以下）、および酸素蛽度異常上界（ $22 \%$ 以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-21.jpg?height=135&width=151&top_left_y=1727&top_left_x=311) | (2)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。2階から 3 階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを閉めてから梯子を登って下さい。ハッチを閒める際は指はさみ等に気を付けて下さい。 | | K | (3) 2 F天井にマンホールより3Fに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。 | | A | ④感奄を防ぐため運転盤、電気盤、モーターその他の電気系統の踑出部分には絶対に触らないでください。また、装置の保守点検を行う場合は必ず電源を切ってください。 |

今注僮今注

感

①ユニット内は、装置運転中、停止中共に、酸素濃度の高いガスが充満している可能性があります。酸素濃度の高いがス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。運転中、停止中共に換気扁を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より覗き、必ず酸
装置内，装置运转中、停止中，都有充满氧浓度高的气体的可能性。虽然氧气含量很高，但在燃烧时，会发生爆炸性火灾。运转中、停止中一起旋转换气扁，在单元内换气。进入单元内时，首先要从测量室的门的窗户窥视，一定要酸。

ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素濃度計を設置し、酸素濃度を常時測定しています。酸素澧度異常低下（19%以下）、および酸素濃度異常上界（ 2 2%以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。
请打开门，进入单元。在机组内安装了一个血氧计，不断测量氧气浓度。该装置捕捉到氧气摄入量异常下降（19%以下）和氧气浓度异常上限（22%以上），并打开指示灯。如果帕特拉灯亮着，请绝对不要进入单元内。

出

②計測室ユニットには、製品窒素カスの純度測定のためのTO A か設置されています。TOAの排出カスは、ユニット外に放出するようにしていますか、配管の漏れ等で、ユニット内に放出され、ユニット内に充満する恐れがあります。運転中は常時換気屈を回し、ユニット内を換気して下さい。TOAの排出カスはにおいがあります。異臭がある場合はユニット内に入らないで下さい。
②在测量室单元中，设置了用于测量产品氮渣纯度的TO A。TOA的排出渣可能会排放到单元外，或者由于管道泄漏等原因，排放到单元内，充满单元内。运转中，请经常转动换气屈，在单元内换气。TOA的排气渣有气味。如果有异味，请不要进入装置内。

立

(3)ユニット内は機器や配管が設置されております。ぶつかったり、簛いたりして怪我をする可能性があります。日常点検等でユニット内に入る際には十分に注意して下さい。特に注意が必要な場所にはトラテーブを貼っています。
（3）设备和管道安装在该单元内。你可能会被撞到或被踢到另一边，从而受伤。在日常检查等情况下进入单元时，要非常小心。我们会在需要特别注意的地方贴上拖车。

SIS

④ＭS吸者器、MS再生加熱器および周辺配管に触らないで下さい。高温のため火傷の危険があります。点検の場合、充分に泠却して作業を行って下さい。
请不要触摸MS吸器、MS再生加热器以及周边配管。由于高温，有烧伤的危险。如果是检查的话，请把它充分地储存起来，然后继续工作。

(5)装置内の残液を放出する際は、極低温の液化カスで、東傷を負う可能性がありますので十分に注意して下さい。作業の際は皮手袋を若用して下さい
（5）在释放设备中的残余液体时，由于它是低温的液化渣，可能会造成东伤，所以要非常小心。作业时请年轻使用皮手套

⑥運転中１Ｆユニット内は負圧となっていますので、ドアが急激に閉まり手指などを挟み怪我をする可能性がありますので、十分に注意して下さい。
在钢管运转中，1 F单元内为负压，门急剧关闭，有夹住手指等受伤的可能性，请充分注意。

(7)運転中ユニット内の機械廻り、および圧力降下のある井周辺で騒音が発生します。難倳になる可能性がありますので、ユニット内に入る際には必ず耳拴を着用して下さい。
（7）在运行过程中，机组内的机械循环和有压降的井周围会产生噪音。因为有成为难伱的可能性，所以进入单元内的时候请一定要戴上耳环。

(8)装置の保守点検のために、機器、配管、并などを取り外す場合は圧力がなことを確照してから実施してください。カスス供給井関、水ポンプ停止やフフロー升開など必要な操作を実施してください。高圧ガスの噴出により怪我をする危険があります。
（6）为了进行装置的保养检查，拆卸机器、配管、排列等时，请在确认有压力后再实施。请实施浮渣供给井关，水泵停止和浮流提升等必要的操作。由于高压气体的喷射，你有受伤的危险。

今注僮感 "①ユニット内は、装置運転中、停止中共に、酸素濃度の高いガスが充満している可能性があります。酸素濃度の高いがス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。運転中、停止中共に換気扁を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より覗き、必ず酸 https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=61&width=1156&top_left_y=645&top_left_x=663 ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素濃度計を設置し、酸素濃度を常時測定しています。酸素澧度異常低下（19%以下）、および酸素濃度異常上界（ 2 2%以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。" 出 ②計測室ユニットには、製品窒素カスの純度測定のためのTO A か設置されています。TOAの排出カスは、ユニット外に放出するようにしていますか、配管の漏れ等で、ユニット内に放出され、ユニット内に充満する恐れがあります。運転中は常時換気屈を回し、ユニット内を換気して下さい。TOAの排出カスはにおいがあります。異臭がある場合はユニット内に入らないで下さい。立 (3)ユニット内は機器や配管が設置されております。ぶつかったり、簛いたりして怪我をする可能性があります。日常点検等でユニット内に入る際には十分に注意して下さい。特に注意が必要な場所にはトラテーブを貼っています。 SIS ④ＭS吸者器、MS再生加熱器および周辺配管に触らないで下さい。高温のため火傷の危険があります。点検の場合、充分に泠却して作業を行って下さい。 https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=93&width=83&top_left_y=1746&top_left_x=317 (5)装置内の残液を放出する際は、極低温の液化カスで、東傷を負う可能性がありますので十分に注意して下さい。作業の際は皮手袋を若用して下さい https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=134&width=145&top_left_y=1883&top_left_x=307 ⑥運転中１Ｆユニット内は負圧となっていますので、ドアが急激に閉まり手指などを挟み怪我をする可能性がありますので、十分に注意して下さい。 https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=134&width=124&top_left_y=2040&top_left_x=307 (7)運転中ユニット内の機械廻り、および圧力降下のある井周辺で騒音が発生します。難倳になる可能性がありますので、ユニット内に入る際には必ず耳拴を着用して下さい。 https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=137&width=148&top_left_y=2197&top_left_x=307 (8)装置の保守点検のために、機器、配管、并などを取り外す場合は圧力がなことを確照してから実施してください。カスス供給井関、水ポンプ停止やフフロー升開など必要な操作を実施してください。高圧ガスの噴出により怪我をする危険があります。

| | 今注僮 | | :---: | :---: | | 感 | ①ユニット内は、装置運転中、停止中共に、酸素濃度の高いガスが充満している可能性があります。酸素濃度の高いがス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。運転中、停止中共に換気扁を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より覗き、必ず酸 ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=61&width=1156&top_left_y=645&top_left_x=663) ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素濃度計を設置し、酸素濃度を常時測定しています。酸素澧度異常低下（19%以下）、および酸素濃度異常上界（ 2 2%以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。 | | 出 | ②計測室ユニットには、製品窒素カスの純度測定のためのTO A か設置されています。TOAの排出カスは、ユニット外に放出するようにしていますか、配管の漏れ等で、ユニット内に放出され、ユニット内に充満する恐れがあります。運転中は常時換気屈を回し、ユニット内を換気して下さい。TOAの排出カスはにおいがあります。異臭がある場合はユニット内に入らないで下さい。 | | 立 | (3)ユニット内は機器や配管が設置されております。ぶつかったり、簛いたりして怪我をする可能性があります。日常点検等でユニット内に入る際には十分に注意して下さい。特に注意が必要な場所にはトラテーブを貼っています。 | | SIS | ④ＭS吸者器、MS再生加熱器および周辺配管に触らないで下さい。高温のため火傷の危険があります。点検の場合、充分に泠却して作業を行って下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=93&width=83&top_left_y=1746&top_left_x=317) | (5)装置内の残液を放出する際は、極低温の液化カスで、東傷を負う可能性がありますので十分に注意して下さい。作業の際は皮手袋を若用して下さい | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=134&width=145&top_left_y=1883&top_left_x=307) | ⑥運転中１Ｆユニット内は負圧となっていますので、ドアが急激に閉まり手指などを挟み怪我をする可能性がありますので、十分に注意して下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=134&width=124&top_left_y=2040&top_left_x=307) | (7)運転中ユニット内の機械廻り、および圧力降下のある井周辺で騒音が発生します。難倳になる可能性がありますので、ユニット内に入る際には必ず耳拴を着用して下さい。 | | ![](https://cdn.mathpix.com/cropped/2024_11_19_fa1c925738c8b5135debg-22.jpg?height=137&width=148&top_left_y=2197&top_left_x=307) | (8)装置の保守点検のために、機器、配管、并などを取り外す場合は圧力がなことを確照してから実施してください。カスス供給井関、水ポンプ停止やフフロー升開など必要な操作を実施してください。高圧ガスの噴出により怪我をする危険があります。 |

（1）日常点検（1）日常检查
荠罟の安定した運転状態を保持するために、CRTの各指示値を確認して下さい。
为了保持模糊的稳定运转状态，请确认CRT的各指示值。

点檢対象点对象

点検項目检查项目（Check Project）

点検方法检查方法（Check Method）

判定判定（判定）

処置处置（处置）

MS 吸着器 MS吸附器

1.切换时的气门的工作2.再生 ·预冷时的出口温度 3.漏料4.外藏（外藏）

1.切換時のバルプの作勤

2.再生 • 予冷時の出口温度

3.カスス漏れ

4. 外贊

阀门的打开确认再生時

120^{\circ} C

以上予冷時

75^{\circ} C

以下的呼吸音力下降下的气泡心脏起搏器

バルプの開開確認

再生時

120^{\circ} C

以上

予冷時

75^{\circ} C

以下

曘洩音

圧力降下

発泡剤による試験目視

部作動のないこと。

120^{\circ} C

以下

75^{\circ} C

上面的那个。圧カを保持した状態で 30 分間、圧力降下が認められないこと。認められないこと。異常な水滴、腐食等認められないこと。

部作動のないこと。

120^{\circ} C

以下

75^{\circ} C

以上

認められないこと。

圧カを保持した状態

で 30 分間、圧力降下が認められないこ

と。

認められないこと。

異常な水滴、腐食等認められないこと。

弊社に連絡下さい。

㢢社に連絡下さい。

本体および絙き手溶接部か不良の場合は溶接等で補修する（溶接による補㫦が必要な場合は、弊社に連絡下さい）。

錆を落とし、補修湴装する。

\begin{aligned} コールド \\ ボックス \end{aligned}

1.安全井、仪器仪表元Require2.ET音 3.示波器外

1.安全井、計器類の元弁

2.ET 音

3.外観

触診

異音

目視

全開であること。

楒められないこと。異常な水滴、腐食等認められないこと。

值ちに全開とする。

㢢社に連絡下さい。再排気を行う（弊社に連絡下さい）。

鉏を落とし、補修塗装する。

バルフ

及び

配管関係

1.安全要求，体力消耗元井 2.奇奇指示 3.泄漏泄漏4.外観

1.安全弁、圧力計の元井

2.圧カ計の指示

3.ガス漏れ

4. 外観

触影

目視

漏洩音

圧力降下

発泡剤による跔験

目視

全開であること。指示値が正常であること。認められないこと。圧力を保持した状態で 30 分間、圧力降下が覞められないこと。認められないこと。異常な曾霖、結露が認められないこと。その他変形 · 破損 ·腐食が㽢められないこと。

全開であること。

指示値が正常であること。

認められないこと。圧力を保持した状態で 30 分間、圧力降下が覞められないこと。

認められないこと。異常な曾霖、結露が認められないこと。その他変形 • 破損 •腐食が㽢められないこと。

把它完全放进去。如果管道本体及接头焊接部位有缺陷，则应通过焊接等方式进行维修（如需要通过焊接进行维修，请与本公司联系）。法兰等继手部位不良的情况下，要增紧，或者更换密封垫。升类的内部图案的情况下，要更换并列子·瓣座的过渡，或者并列子（盘）。发生异物的凹入等情况下，请调查其原因并对建。来自大部分的泊，增加紧，或者，交换格兰特哈金。

值ちに全開とする。

配管本体および継き手溶接部が不良の場合は溶接等で補修する（溶接による補修が必要な場合は、弊社に連絡下さい）。

フランジ等の継き手部が不良の場合は增し締め、または、ガスケットを交換する。升類の内部暔渾の場合は、并子 • 弁座の摺り合わせ、または、并子（ディスク）を交換する。異物の䟧み込み等が発生した場合、その原因を調査し対筑下さい。グランド部からの湍泊は、增し締め、または、グラントハハッキンを交換する。

点檢対象点検項目点検方法判定処置 MS 吸着器 "1.切換時のバルプの作勤 2.再生 • 予冷時の出口温度 3.カスス漏れ 4. 外贊" "バルプの開開確認再生時 120^(@)C 以上予冷時 75^(@)C 以下曘洩音圧力降下発泡剤による試験目視" "部作動のないこと。 120^(@)C 以下 75^(@)C 以上認められないこと。圧カを保持した状態で 30 分間、圧力降下が認められないこと。認められないこと。異常な水滴、腐食等認められないこと。" "弊社に連絡下さい。㢢社に連絡下さい。本体および絙き手溶接部か不良の場合は溶接等で補修する（溶接による補㫦が必要な場合は、弊社に連絡下さい）。錆を落とし、補修湴装する。" " コールドボックス " "1.安全井、計器類の元弁 2.ET 音 3.外観" "触診異音目視" "全開であること。楒められないこと。異常な水滴、腐食等認められないこと。" "值ちに全開とする。㢢社に連絡下さい。再排気を行う（弊社に連絡下さい）。鉏を落とし、補修塗装する。" "バルフ及び配管関係" "1.安全弁、圧力計の元井 2.圧カ計の指示 3.ガス漏れ 4. 外観" "触影目視漏洩音圧力降下発泡剤による跔験目視" "全開であること。指示値が正常であること。認められないこと。圧力を保持した状態で 30 分間、圧力降下が覞められないこと。認められないこと。異常な曾霖、結露が認められないこと。その他変形 • 破損 •腐食が㽢められないこと。" "值ちに全開とする。配管本体および継き手溶接部が不良の場合は溶接等で補修する（溶接による補修が必要な場合は、弊社に連絡下さい）。フランジ等の継き手部が不良の場合は增し締め、または、ガスケットを交換する。升類の内部暔渾の場合は、并子 • 弁座の摺り合わせ、または、并子（ディスク）を交換する。異物の䟧み込み等が発生した場合、その原因を調査し対筑下さい。グランド部からの湍泊は、增し締め、または、グラントハハッキンを交換する。"

| 点檢対象 | 点検項目 | 点検方法 | 判定 | 処置 | | :---: | :---: | :---: | :---: | :---: | | MS 吸着器 | 1.切換時のバルプの作勤 2.再生 • 予冷時の出口温度 3.カスス漏れ 4. 外贊 | バルプの開開確認 再生時 $120^{\circ} \mathrm{C}$ 以上 予冷時 $75^{\circ} \mathrm{C}$ 以下 曘洩音 圧力降下 発泡剤による試験目視 | 部作動のないこと。 $120^{\circ} \mathrm{C}$ 以下 $75^{\circ} \mathrm{C}$ 以上 認められないこと。 圧カを保持した状態 で 30 分間、圧力降下が認められないこ と。 認められないこと。 異常な水滴、腐食等認められないこと。 | 弊社に連絡下さい。 㢢社に連絡下さい。 本体および絙き手溶接部か不良の場合は溶接等で補修する（溶接による補㫦が必要な場合は、弊社に連絡下さい）。 錆を落とし、補修湴装する。 | | $\begin{aligned} & \text { コールド } \\ & \text { ボックス } \end{aligned}$ | 1.安全井、計器類の元弁 2.ET 音 3.外観 | 触診 異音 目視 | 全開であること。 楒められないこと。異常な水滴、腐食等認められないこと。 | 值ちに全開とする。 㢢社に連絡下さい。再排気を行う（弊社に連絡下さい）。 鉏を落とし、補修塗装する。 | | バルフ 及び 配管関係 | 1.安全弁、圧力計の元井 2.圧カ計の指示 3.ガス漏れ 4. 外観 | 触影 目視 漏洩音 圧力降下 発泡剤による跔験 目視 | 全開であること。 指示値が正常であること。 認められないこと。圧力を保持した状態で 30 分間、圧力降下が覞められないこと。 認められないこと。異常な曾霖、結露が認められないこと。その他変形 • 破損 •腐食が㽢められないこと。 | 值ちに全開とする。 配管本体および継き手溶接部が不良の場合は溶接等で補修する（溶接による補修が必要な場合は、弊社に連絡下さい）。 フランジ等の継き手部が不良の場合は增し締め、または、ガスケットを交換する。升類の内部暔渾の場合は、并子 • 弁座の摺り合わせ、または、并子（ディスク）を交換する。異物の䟧み込み等が発生した場合、その原因を調査し対筑下さい。グランド部からの湍泊は、增し締め、または、グラントハハッキンを交換する。 |

（2）定期点検（二）定期检查
定期点檢は装置が安定した運転か維持できるように行うものであります。以下、各蟣器の点検項目並びに時期を一覧表にして示します。詳細は各㙨器の取扱説明髇を参照願います。
定期点检是为了使装置能够稳定地运转或维持而进行的。以下，将各容器的检查项目以及时期用一览表表示。有关更多信息，请参见每个容器的使用说明。
また、一㯺中の点検時期は目安ですから㡮分前後しても問題ありません。定期监理時に○印のないものは、6 ヶ月 - 1 ヶ年等の点検時期を考え合わせ、適宜定期修理時に点検願います。○印のないものは特に規定しないものです。
另外，因为一个中的检查时间是一个指导方针，所以即使在一个之前或之后也没有问题。定期监督时没有○印的东西，考虑6个月-1年等的检查时期，适当的定期修理时请检查。没有标记的东西是没有特别规定的。
原料空気圧縮機および㷨張タービンに関しては、別紙取扱説明蓁に従って実施願います。
关于原料空气压缩机以及钢管张涡轮，请按照附件使用说明的实际实施。

機器名设备名称（Device Name）

点検項目检查项目（Check Project）

内容内容（Content）

1ヶ月一个月（1）

3 ヶ月 3个月（3）

6ヶ月 6个月

1 力年一年的力量。

定修時定修时

吸管器吸管器（吸管器）

（1）吸附⇒（2）过滤器

(1) 吸着㭊

(2)フィルター

（1）吸附剂的下沉（2）检查

(1) 吸曙剂の沈下

(2)点検

増交填增交填

部器関係部器关系

（1）压力部（2）温度（3）流量（4）差压计（5）液面（6）纯度（7）压力开关

(1) 圧力部

(2)温度旪

(3)流量旪

(4) 差圧計

(5)液面部

(6) 純度旪

(7)圧力

スイッチ

（1）岩正（2）凯正（3）校正（4）岩正（5）校正（6）岩正（7）SET压カの调让

(1)皎正

(2)榦正

(3)較正

(4)皎正

(5)較正

(6)皎正

(7)セット圧カ

の調嫜

純度什取扱眖明者を参昭願います。参昭求纯度什处理的明者。

升類升类（升类）

（1）自动调节井（2）电勤升（3）紧急遮断升（4）停止升（5）其他井类

(1) 自動調節井

(2)電勤升

(3)緊急遮断升

(4)ストップ升

(5)その他井類

（1）分解检查（2）分解检查（3）分解检查（4）分解检查（片材泄漏试验）（5）分解检查

(1)分解点検

(2)分解点検

(3)分解点検

(4)分解点検

（シート漏れテスト）

(5)分解点検

\begin{aligned} O \\ O \\ O \\ O \end{aligned}

安全装露

（1）安全阀（2）联锁

(1)安全弁

(2)インターロック

（1）-1分解检修- 2套王力动作确恕（1）套值动作钢管

(1)-1分解点検 - 2 セット王力作動確恕

(1)セット値作動䡣照

\begin{aligned} 0 \\ 0 \\ 0 \end{aligned}

配管管道（Pipeline）

（1）管道（2）其他管道

(1)計装配管

(2)その他の配管

（1）挠，堵塞（2） 1沙霍特状态- 2

(1)搌れ、詰まり

(2) 1 サホホート

状態

- 2 鍗

\begin{aligned} 0 \\ 0 \\ 0 \end{aligned}

外橧外（外）

(1)真空度（1）真空度

(1)滨霜 1.滨霜

加熱㳖臨加热后，再来。

（1）加热器（2）加热器

(1) 軍気ヒーター

（2）保温

（1）-1绝绿- 2温控工作（2）破损

(1)-1絶緑

- 2 温度制御作勤

(2) 破損

0

(3)トラブルシューティング（3）故障排除

項目项目（Item）

検出筒所探测筒所

確認項目确认项目（Check Item）

MS 吸着器脱圧異常 MS吸附器脱压异常

-脱圧完了時 PIA2411orPIA2421 - 脱压完成时PIA 2411 orPIA 2421

- 确认脱压升压及电磁升压的动作。 - 确认压器发射器、导压管、信号线连接正常。 - 确认警报设定是否为规定值。 - 确认逆止升工作正常。

-脱圧升および電磁升の動作を確認する。

- 圧カ発信器、導圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

- 逆止升が正常に動作していることを確認する。

MS 吸着器充圧異常 MS吸附器充压异常

- 充压完成时PdIA 2412

- 充圧完了時

PdIA2412

- 确认充压提升及电磁提升的动作。 - 验证压力发射器、压力管和信号线连接是否正确。 - 确认警报设定是否为规定值。 - 确认恒流量上升（PV 2401）的设定是否正常。

- 充圧升および電磁升の動作を確認する。

- 圧力発信器、葚圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

- 定流量升（PV2401）の設定が正常であることを確認する。

MS 吸着器加熱異常 MS吸附器加热异常

- TIS 2402冷却时间

-冷却時間内

TIS2402

- 确认加热升降机及电磁升降机的动作。 - 确保温度计没有断线。 - 确认警报设定是否为规定值。 - 检查再生加热器是否正常。

- 加熱升および電磁升の動作を確認する。

- 温度計に断線がないことを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

-再生用加熱器が正常であることを確認する。

MS 吸着器冷却異常 MS吸附器冷却异常

-冷却完了時 TIA2402 -冷却完成后TIA 2402

确认冷却阀以及电磁升降的动作。确保温度计没有断线。 - 确认警报设定是否为规定值。

冷却弁および電磁升の動作を確認する。温度計に断線がないことを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

MS 吸着器加熱升異常 MS吸附器加热上升异常

- 加热时间内TIC 2443

- 加熱時間内

TIC2443

MS 吸着器加熱異常と同様の確認を行う。进行与MS吸附器加热异常相同的确认。

MS 吸着器冷却升異常 MS吸附器冷却上升异常

- 在冷却时间内TIC 2443

-冷却時間内

TIC2443

MS 吸着器冷却異常と同槏の確認を行う。对MS吸附器冷却异常和相同的特性进行确认。

再生加热器异常

再生ヒーター

異常

- 加热时间内TA 2444

-加熱時間内

TA2444

サーモスタットの確認を行う。检查一下恒温器。

計装空気圧力低下空气压力降低。

PIA2471

- 确认灭压升（PV 2471、PV 5251）的设定是否正常。 - 确认备用压卡、MS吸附器压卡。- 确认警报设定是否为规定值。 - 确认各自动升的计空无泄漏。

- 滅圧升（PV2471，PV5251）の設定が正常であることを確認する。

- バックアップ圧カ、MS 吸着器圧カを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。

- 各自動升の計空漏れのないことを確認する。

ET ベアリングガス圧カ低下 ET轴承气压下降

PIS3321

- 确信灭压升（PV 3320）的设定是正常的。 - 检查入损耗训练器是否堵塞。- 确认警报设定是否为规定值。 - 确保送出主管压力没有下降。

- 滅圧升（PV3320）の設定が正常であることを確慧する。

- 入ロストレーナーに詰まりが無いことを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。

- 送出主管圧力が低下していないことを確㦙する。

ET 入口圧力異常 ET 入口压力异常

PICS3441

- 验证压力调节表是否为AUTO。- 确认警报设定是否为规定值。 - 检查液空流量、气液分离器液面是否稳定。 - 检查压力发射器、道路压力管和信号线是否已正常连接。

- 圧力調節計が AUTO になっていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。

- 液空流量、気液分離器液面が安定していることを確認する。

-圧力発信器、道圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

項目検出筒所確認項目 MS 吸着器脱圧異常 -脱圧完了時 PIA2411orPIA2421 "-脱圧升および電磁升の動作を確認する。 - 圧カ発信器、導圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 - 逆止升が正常に動作していることを確認する。" MS 吸着器充圧異常 "- 充圧完了時 PdIA2412" "- 充圧升および電磁升の動作を確認する。 - 圧力発信器、葚圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 - 定流量升（PV2401）の設定が正常であることを確認する。" MS 吸着器加熱異常 "-冷却時間内 TIS2402" "- 加熱升および電磁升の動作を確認する。 - 温度計に断線がないことを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 -再生用加熱器が正常であることを確認する。" MS 吸着器冷却異常 -冷却完了時 TIA2402 "冷却弁および電磁升の動作を確認する。温度計に断線がないことを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。" MS 吸着器加熱升異常 "- 加熱時間内 TIC2443" MS 吸着器加熱異常と同様の確認を行う。 MS 吸着器冷却升異常 "-冷却時間内 TIC2443" MS 吸着器冷却異常と同槏の確認を行う。 "再生ヒーター異常" "-加熱時間内 TA2444" サーモスタットの確認を行う。計装空気圧力低下 PIA2471 "- 滅圧升（PV2471，PV5251）の設定が正常であることを確認する。 - バックアップ圧カ、MS 吸着器圧カを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 - 各自動升の計空漏れのないことを確認する。" ET ベアリングガス圧カ低下 PIS3321 "- 滅圧升（PV3320）の設定が正常であることを確慧する。 - 入ロストレーナーに詰まりが無いことを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 - 送出主管圧力が低下していないことを確㦙する。" ET 入口圧力異常 PICS3441 "- 圧力調節計が AUTO になっていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 - 液空流量、気液分離器液面が安定していることを確認する。 -圧力発信器、道圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。"

ET出口圧カ異常 ET出口压卡异常

PIS3303

确认压力调节计是否为AUTO。- 确认警报设定是否为规定值。 - 检查MS再生气体压力（PICA 3541）是否稳定。 - 确认压器发射器、导压管、信号线连接正常。

圧力調節計がAUTO になっていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。

-MS 再生ガス圧力(PICA3541)が安定していることを確認する。

- 圧カ発信器、導圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

液空流量異常液空流量异常

FICA3501

- 确认流量调节计是否为AUTO。 - 确认警报设定是否为规定值。 - 他确信Shirouta的压力是稳定的。 - 检查差压发射器、道压管和信号线连接是否正常。

- 流量調節計がAUTO になっていることを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

- 精留塔圧力が安定していることを確慧する。

-差圧発信器、道圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

精留塔圧力異常精留塔压力异常

PIS3501

- 确认现场压力指示表为正常值。 - 确认吸附中的MS吸附器压卡为正常值。 - 确认差压发射器、压压管、信号线连接正常。 - 确认警报设定是否为规定值。

-現場圧力指示計が正常値であることを確認する。

- 吸着中のMS 吸着器圧カが正常値であることを確認する。

- 差圧発信器、稘圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

再生ガス圧力異常再生气体压力异常

PICA3541

- 验证压力调节表是否为AUTO。 - 确保差压发射器、资压管、信号线连接正常。 - 确认MS吸附器再生气体进入/出口上升，麻气体放出上升（PV 3541）的动作正常。 - 确认警报设定是否为规定值。

- 圧力調節計がAUTO になっていることを確認する。

-差圧発信器、資圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

- MS 吸着器再生ガス入ロ/出口升、麻ガス放出升（PV3541）の動作が正常であることを確認する。

-警報設定が規定値であることを確認する。

製品純度低下产品纯度降低

MIA5221

- 确认分析仪安装场所的温度没有上升。 - 确认分析俱乐部没有泄漏。 - 确认分析仪中有规定量流动。 - 确保质量平衡没有变化。 - 确认警报设定是否为规定值。

- 分析計設置場所の温度が上昇していないことを確認する。

- 分析俱管に漏れが無いことを確認する。

- 分析計に規定量流れていることを確認する。

- マスバランスに変化がないことを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

製品露点低下产品露点低

QIA5222

- MS 吸著器が正常に動作していたことを確認する。
- 验证MS吸附器是否工作正常。

製品流量異常产品流量异常

FICS5221

- 确认流量调节计是否为AUTO。 - 确认差压发射器、压力管、信号线连接正常。 - 确认警报设定是否为规定值。 - 确保客户使用量没有急剧变化。

- 流量調節計がAUTO になっていることを確認する。

-差圧発信器、斯圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

-客先使用量の急激な変動がないことを確認する。

製品圧力異常产品压力异常

PICA5221

製品流量異常と同様の確認を行う。进行与产品流量异常相同的确认。

原料空気温度異常原料空气温度异常

TIA2401

检查冷却塔是否正常。 - 检查冷却水泵是否正常。- 确保冷却水已供应。

冷却塔が正常であることを確認する。

- 冷却水ポンプが正常であることを確認する。 - 冷却水が供給されていることを確認する。

液空液面異常液空液面异常

LICS3501

- 确认差压调节计是否为AUTO。 - 检查差压发射器、压力管和信号线是否已正常连接。 - 确认警报设定是否为规定值。 - 确认ET入口温度没有上升。 - 产品液氮送手是否正常工作，特别是泄漏

- 差圧調節計がAUTOになっていることを確認する。

-差圧発信器、淇圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

-警報設定が規定値であることを確認する。

-ET 入口温度の上昇が無いことを確認する。

- 製品液窒送出手が正常に動作しているか特に漏れ

ET出口圧カ異常 PIS3303 "圧力調節計がAUTO になっていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 -MS 再生ガス圧力(PICA3541)が安定していることを確認する。 - 圧カ発信器、導圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。" 液空流量異常 FICA3501 "- 流量調節計がAUTO になっていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 - 精留塔圧力が安定していることを確慧する。 -差圧発信器、道圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。" 精留塔圧力異常 PIS3501 "-現場圧力指示計が正常値であることを確認する。 - 吸着中のMS 吸着器圧カが正常値であることを確認する。 - 差圧発信器、稘圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。" 再生ガス圧力異常 PICA3541 "- 圧力調節計がAUTO になっていることを確認する。 -差圧発信器、資圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。 - MS 吸着器再生ガス入ロ/出口升、麻ガス放出升（PV3541）の動作が正常であることを確認する。 -警報設定が規定値であることを確認する。" 製品純度低下 MIA5221 "- 分析計設置場所の温度が上昇していないことを確認する。 - 分析俱管に漏れが無いことを確認する。 - 分析計に規定量流れていることを確認する。 - マスバランスに変化がないことを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。" 製品露点低下 QIA5222 - MS 吸著器が正常に動作していたことを確認する。製品流量異常 FICS5221 "- 流量調節計がAUTO になっていることを確認する。 -差圧発信器、斯圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。 - 警報設定が規定値であることを確認する。 -客先使用量の急激な変動がないことを確認する。" 製品圧力異常 PICA5221 製品流量異常と同様の確認を行う。原料空気温度異常 TIA2401 "冷却塔が正常であることを確認する。 - 冷却水ポンプが正常であることを確認する。 - 冷却水が供給されていることを確認する。" 液空液面異常 LICS3501 "- 差圧調節計がAUTOになっていることを確認する。 -差圧発信器、淇圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。 -警報設定が規定値であることを確認する。 -ET 入口温度の上昇が無いことを確認する。 - 製品液窒送出手が正常に動作しているか特に漏れ"

がないことを確認する。确保你没有。

原料空気圧カ異常原料气压异常

PIC2401

- 验证压力调节表是否为AUTO。 - 检查压力发射器、道路压力管和信号线是否已正常连接。 - 确认警报设定是否为规定值。

- 圧力調節計がAUTOになっていることを確認する。

- 圧力発信器、道圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

- 警報設定が規定値であることを確認する。

输气主管压力正常

送ガス主管

圧力睪常

PICA5222

- 验证压力调节表是否为AUTO。 - 检查压力发射器、压压管和信号线是否已正常连接。 - 确认警报设定是否为规定值。

- 圧力調節計がAUTOになっていることを確認する。

- 圧力発信器、湛圧管、信号線が正常に接続されていることを確認する。

-警報設定が規定値であることを確認する。

水分離器ドレン高水分离器排水高度

LIA1751

- 确保排水诱捕器工作正常。- 验证电平开关是否工作正常。 - 检查排水管减震器是否堵塞。 - 确认没有因结等而堵塞。

-ドレントラップが正常に動作していることを確熹する。 - レベルスイッチが正常に動作していることを確認する。

-ドレントラップスロストレーナに詰まりが無いことを確認する。

-斬結等による詰まりが無いことを確認する。

7. 㡛萎 7.翻天覆地的变化

充填材等の廃亲は下記嘪項に従って実施して下さい。填充材料等的废亲请按照下述条款实施。

	\泣空哭空的。
	(1)触媒およびMS 吸着剤を廃童する場合は環境保镌のため産業廃楽物として処理して下さい。（1）废童催化剂及MS吸附剂时，为了保护环境，请将其作为产业废弃物进行处理。
	(2)サイレンサー、コールドボックスのグラスウールおよびパーライトを廃裹する場合は環境保護および健康障容防止のため産業緳亲物として処理して下さい。（2）在废弃消音器、冷箱玻璃棉及浮光的情况下，为了保护环境及防止健康障碍，请作为产业亲物处理。

8. 緊急時の措置 8.紧急情况下的措施

（1）繄急時の連絡の周知（1）在紧急情况下通知他们。
緊急時に必要な連絡先は貴任者自宅、協力会社、共同防炎電業所、所辖目庁などに区分し、管理室などの見やすい場所に常時揭示し、関係者の周知を図って下さい。
紧急情况下必要的联系方式分为贵任者住宅、合作公司、共同防炎电气所、所辖厅等，请随时在管理室等容易看到的场所公开，以使相关人员知道。
（2）通報連絡（2）通知通知

付近の作業者に知らせると共に直ちに資任者に通報し、その指示の元に関係者又は必要に応じて警察署、消防署および都道府県に連絡頸います。
在通知附近的工人的同时，应立即通知承包商，并根据其指示与有关人员或必要时与警察局、消防局和都道府县联络。
（3）応急処䁅（3）紧急整改

れた場合には值ちに使用を停止し、漏浬修理のための適切な処置をとつて下さい。
在这种情况下，请停止对价值的使用，并采取适当的措施进行泄漏修理。

（4）退避（四）撤离
資任者は応急処置を行うことが危険であると判断した場合、又は応急処瞫を行った後もなお危険であると判断した場合には、作業者又は必要に応じて近隣住民に退避するよう診薄頋います。
资人认为采取应急措施是危险的，或者进行应急处理逗号后仍认为危险的，应当诊断薄至作业人或者根据需要向附近居民退避。

連絡先联系人（Contact Contact）

納入置に関し、トラブル、その他のお問い合わせ恵項が生じた場合、下記まで連絡願います。
关于交货放置，发生纠纷，其他的咨询优惠的情况下，请与以下联系。

日本酸素株式会社オンサイト • ブラント営業本部プラント営業部第一プラント営業グループ
日本氧株式会社现场布兰特营业本部工厂营业部第一工厂营业集团

〒105-8442 東京都港区西新橋 1-16-7
105-8442东京都港区西新桥1-16-7

\begin{array}{ll} TEL & 03 (3581) 8710 \\ FAX & 03 (3581) 8405 \end{array}

緊急時紧急情况下

日本酸索株式会社プラントエンジ • 建殷本部メンテナンス裹業部
日本酸索株式会社建殷总部维修业部

〒210-0861 神奈川県川崎市川䗁区小島町 6-2
210-0861 神奈川县川崎市川
TEL 044(288)6992 电话：044（288）6992

	\注意 \注意
感	(1)ユニット内は、装置運転中、停止中共に、酸素湦度の高いカスが充満している可能性があります。酸素恠度の高いガス中で、火気を使用すると爆発的な火災を生じます。運転中、停止中共に換気屚を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より覗き、必ず酸素摆度が19〜22%（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素濃度計を設置し、酸素濃度を常時測定しています。酸素滍度異常低下（19%以下）、および酸素濃度異常上昇（ 2 2%以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトか点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。（1）单元内，在装置运转中、停止中，都有可能充满了氧度高的渣。在高氧气强度的气体中，如果使用火焰，就会发生爆炸性火灾。运转中、停止时都要旋转换气钢管，在单元内换气。进入单元内时，首先要从测量室的门的窗户窥视，确认氧气摆度为19~22%（正常值）后，打开门进入单元内。在机组内安装了一个血氧计，不断测量氧气浓度。它捕捉到氧气水平异常下降（19%或更低）和氧气水平异常上升（22%或更高），这就是为什么爱国灯被打开的机制。如果帕特拉或亮灯，请绝对不要进入单元内。
会	(2)計測室ユニットには、製品窒素カスの純度測定のためのTO A か設置されています。TOAの排出ガスは、ユニット外に放出するようにしていますか、配管の漏れ等で、ユニット内に放出され、ユニット内に充満する恐れかあります。運転中は常時換気属を回し、ユニット内を換気して下さい。TOAの排出カスはにおいがあります。異臭がある場合はユニット内に入らないで下さい。（2）在测量室单元中安装了TOA或TOA，用于测量产品氮渣的纯度。TOA的排放气体有可能排放到单元外，或者由于管道泄漏等原因排放到单元内，充满单元内。运转中，请随时旋转换气属，在单元内换气。TOA的排气渣有气味。如果有异味，请不要进入装置内。
	(3)升の操作は急激な操作を避けて、各部の状態を確認しつつ升の開開操作を慎重に行って下さい。（3）升的操作避免急剧的操作，一边确认各部分的状态，一边慎重地进行升的打开操作。
	(4)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。２階から３階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを開めてから梯子を登って下さい。ハッチを閉める際は指はさみ等に気を付けて下さい。（4）在日常检查中爬单元内的梯子时，有跌落的可能性。请你足够小心。当你从二楼上到三楼时，一定要打开二楼的舱口，然后爬上梯子。关闭钩子时，请注意手指剪刀等。
	（5）２F天井にマンホールより３Ｆに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。（5）从检修孔进出2 F天花板时，有可能跌落受伤。此外，你可能会在检修孔上涂抹手指或击中头部而受伤。请你充分注意。


$0, - \infty$	(1)ユニット内（計剆室ユニットを含む）は、装置運転中、停止中共に、窒素蛝度の高いカスが充満している可能性があります。窒素ガスを吸引すると窒息し、死亡に至る場合があります。運転中、停止中共に換気屈を回し、ユニット内を換気して下さい。ユニット内に入る場合には、まず、計測室のドアの窓より䛠き、必ず酸素濃度が 19 〜 2 ％（正常値）で有ることを確認した上で、ドアを開けてユニット内に入って下さい。ユニット内には酸素湎度計を設置し、酸素虽度を常時測定しています。酸素摆度異常低下（ $19 %$ 以下）、および酸素蛽度異常上界（ $22 %$ 以上）を捉え、パトライトが点灯する仕組みとなっています。パトライトが点灯している場合は絶対にユニット内に入らないで下さい。（1）单元内（包括计量室单元），在装置运转和停止过程中，都有可能充满氮度高的渣。吸入氮气会导致窒息，甚至死亡。运转中，停止过程中同时旋转换气屈，在单元内换气。进入单元时，请先从测量室的窗户上取出，确保氧气浓度在19 - 2%（正常值）之间，然后打开门进入单元。在该单元内安装了一个氧气浓度计，并不断测量氧气含量。它是捕捉氧度异常降低（ $19 %$ 以下），以及氧度异常上限（ $22 %$ 以上），并点亮探照灯的机制。指示灯亮灯的情况下，绝对不要进入单元内。
	(2)日常点検等でユニット内の梯子を登る際は転落の可能性があります。十分に注意して下さい。2階から 3 階に上がる際は、必ず 2 階床面のハッチを閉めてから梯子を登って下さい。ハッチを閒める際は指はさみ等に気を付けて下さい。（2）在日常检查中爬单元内的梯子时，有跌落的可能性。请你足够小心。从二楼到三楼时，请务必关闭二楼的舱口，然后爬上梯子。把闩锁挂在上面的时候，请注意手指夹等。
K	(3) 2 F天井にマンホールより3Fに出入りする際に転落し怪我を負う可能性があります。また、マンホールに手指などを抰んだり、頭を打ったりし怪我を負う可能性があります。十分にこ注意下さい。（3）在二楼天花板上，从检修孔进出三楼时，有可能跌落并受伤。此外，你可能会在检修孔上涂抹手指或击中头部而受伤。请充分注意。
A	④感奄を防ぐため運転盤、電気盤、モーターその他の電気系統の踑出部分には絶対に触らないでください。また、装置の保守点検を行う場合は必ず電源を切ってください。为防止生锈，请勿触摸司机盘、电器、马达及其他电气系统的输出部分。另外，在进行装置的保养检查时，必须切断电源。

まえがき 前（前）

2.取投恸明書0作成に闌する前惿事㑯 2.取投明书0作成前曾事。

3. 取报没明明書の件い方 3.取报没明明书的事方，

(1)プロセスの概要 （1）过程概述

2. 設置 2.安装（Installation）

3. 運翰 3.运翰（音译）

(2)空気圧縮機起動準備 （2）空气压缩机起动准备

5. 全加繁 5.全加繁

（3）全加草完了の確認 （3）确认全草完成

6. 保守点惔 6.保守点到

7. 㡛萎 7.翻天覆地的变化

8. 緊急時の措置 8.紧急情况下的措施

連絡先 联系人（Contact Contact）

緊急時 紧急情况下

まえがき前（前）

(1)プロセスの概要（1）过程概述

(2)空気圧縮機起動準備（2）空气压缩机起动准备

（3）全加草完了の確認（3）确认全草完成

連絡先联系人（Contact Contact）

緊急時紧急情况下