本教程为籍士超及郭总广根据李春雨老师笔记制作,仅供参考,请在实验室研究员的指导下操作
样品前置处理
通常需要经过氩离子剖光的电镜块样,部分剖光较好的电镜薄片也可以
范围圈定
电压为10kv,电流为2na
1⃣️ 新建一个项目
2⃣️ 并将框选区域转正

1⃣️ 点击Scan(此时电镜视域从中间显示器移至左侧)采集一张大视域图片确定位置,将倍数放小,2⃣️点击Grab Image进行图像采样,并保存数据(通常将大拼数据保存在F盘中 例:F/jsc/xxx)

1⃣️ 切换回Main View
2⃣️ 通过图形工具圈定具体测试范围(绿色框为划定区域:由于参数尚未确定,在此步骤中出现的时间不准确)
(大面积圈定时可以采集多个照片确定位置)
通常区域最大为5mm的正方形

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1⃣️ Management-Edit Protocol


2⃣️ 选择2021.04.15 2D test模式
3⃣️ Scan Settings-Scan Speed通常为1.6(数值越大,精度越高)
4⃣️ Detector️ Setting-选择想要采集的信号图像类型 (Add-SE2/BSD,采集数量不影响测试速度)
5⃣️ Tile Setting Ideal(分辨率),通常10-40,像素点均为8192
1⃣️ 自动聚焦前,将红色框(当前位置)移动到绿色框(目标位置)附近,并手动聚焦
2⃣️ 再次采集图像(小视域)
3⃣️ 回到设置中,自动聚焦设置窗口,选择单张聚焦,单张消除相散,并进行测试

4⃣️ 像素点测试参数
初始默认参数如下
Pixel Ratio:200
Focus Range:10.0
Stig Range:0.50
并点击测试

测试结果理想情况下为一个y轴截距0.8的标准抛物线
**整体偏上调高Focus Range,并减小Pixel Ratio,
理想结果大致如下

达到结果后测试相散

理想测试结果为每一个周边数据均处于(0.9,0.95)区间
数值偏大,调高Stig Range,反之亦然
理想图像大致如下

参数调整好后记得保存!!!

移动一个位置后重复上述测试,确定自动聚焦参数
数据调整完成后1⃣️ 回到参数页面,2⃣️ 点击Apply,3⃣️ Done

调整参数确定时间之后,设置大拼结束后关闭电压电流

在绿框中单击右键,选择check,确定清晰度以及亮度对比度

在绿框中单击右键,选择Aquire

大拼数据处理
只要大拼自动做完并保存,什么时候处理数据都可以
打开Atlas
点击Project Load Project加载项目
左下角切换二次电子及BSD图像模式
图像较正
右键单击图像,选择view,然后点击Image C(第二个),调节单张对比度亮度
全部选中后调整边框感(通过调节X、Y数据)
点击 Done 保存
对齐
回到初始界面,右键图像,点击S M(第三个)
点击C M,进行自动对齐
红色部分需要手动对齐,双击图标即可
对齐时将其中一张照片移到大致位置,按下 Shift,找到一个孔洞缝(便于对齐),并单击对齐框即可
点击Good and next进行连续操作
点击Good结束对齐操作
对齐后选择Apply→Done
最终右键点击图像,并选择Export
并框选导出范围→ Single Dataset BBV(导出网页)在右下角自形设置分辨率、
比例1:1
Expert Report!!!!!!!!✿✿ヽ(°▽°)ノ✿
